电子特气全称为电子特种气体,是指用于半导体、光伏以及其它电子产品生产的特种气体,被广泛应用于光刻、沉[全文]
三氟化氮(NF3)是一种无机氟化物,常温下外观呈无色、无味气体状,不溶于水,不溶于碱,高温条件下会分解[全文]
7N 光电子级超纯氨适用于半导体工业,氮化硅、氮化镓的化学气相沉积,也可用于硅或氧化硅的氮化等生产工艺[全文]