高纯三氟化氮，化学式为NF3，常温下外观为无色无味气体状，其化学性质稳定，不溶于水，不溶于碱，不可燃烧但能助燃，高温条件下会分解产生氟，具有强氧化性。高纯三氟化氮是电子特气的一种，属于含氟类特种气体，在电子特气产品中市场容量最大，广泛应用在电子信息产业中，也称为电子级三氟化氮。
高纯三氟化氮具有选择性优、刻蚀速率快、无残留、对材料表面无污染等优点，可用作蚀刻剂与清洗剂。在半导体芯片行业中，高纯三氟化氮主要用于刻蚀领域；在显示面板、太阳能电池行业中，高纯三氟化氮主要用于刻蚀与清洗领域；此外，高纯三氟化氮还可以应用在光纤、激光器等行业中。
在海外市场中，高纯三氟化氮主要生产商有日本KDK、日本三井、韩国SK等，其生产原料主要从中国市场进口，不具备成本优势。21世纪以来，我国电子产业发展迅速，高纯三氟化氮行业发展速度加快，随着相关技术瓶颈被突破，我国成为高纯三氟化氮主要生产国之一。与国外企业相比，我国高纯三氟化氮行业发展具有原材料优势，并且我国是全球最大的电子产品生产国，因此全球高纯三氟化氮产能逐步向我国大陆地区转移。
我国高纯三氟化氮生产商主要是中船重工718所旗下派瑞特气、昊华科技子公司黎明院、南大光电旗下飞源气体等。分析南大光电营收数据，2018年，南大光电生产的电子特气中不包括高纯三氟化氮，全年电子特气营收占比为34.2%；2019年，南大光电收购飞源气体，电子特气营收占比迅速攀升，达到51.1%。高纯三氟化氮是飞源气体的主营产品之一，由此可以看出我国高纯三氟化氮市场发展势头强劲。
新思界
行业分析人士表示，我国包括派瑞特气、黎明院、飞源气体在内的高纯三氟化氮生产商还在不断扩大产能，随着这些产能陆续进入投产期，我国高纯三氟化氮产量将继续上升，将会进一步挤压海外生产商发展空间。高纯三氟化氮主要应用在电子产业中，我国相关企业在扩大生产能力的同时，也需注意市场供需格局，避免出现产能过剩情况，造成企业盈利能力下降。
