三氯氢硅又称三氯硅烷、硅氯仿，是卤硅烷系列化合物中最重要的一种产品。三氯氢硅为无色有刺激腥臭味的液体，遇水分解，溶于二硫化碳、四氯化碳、氯仿等，在空气中能自燃，有毒。三氯氢硅主要用作硅外延生长和大规模集成电路的硅源，下游应用涉及到半导体、光伏、电子电气、特种橡胶、集成电路等多个领域。近年来，伴随我国半导体产业快速发展，三氯氢硅市场需求逐渐释放，未来行业发展潜力较大。
三氯氢硅合成工艺包括低压氯化合成和四氯化硅氢化两种，但两种合成工艺生产的产品纯度远不能满足芯片硅外延所需三氯氢硅的纯度要求，因此仍需通过多级精馏进一步提纯。三氯氢硅运输具有成本高、难度大等特点，因此现阶段，国内三氯氢硅企业企业多临近多晶硅生产企业，企业分布具有一定的地域性特征，主要集中在华东、华北和中南地区，其中华东地区三氯氢硅产能最高，占比达到46%左右。同时三氯氢硅行业是一个市场化程度较高、竞争较为充分的行业，随着市场优胜劣汰速度加快，三氯氢硅市场集中度在逐渐提升。
根据新思界产业研究中心发布的《
2021-2025年中国三氯氢硅行业应用市场需求及开拓机会研究报告》显示，三氯氢硅可分为电子级三氯氢硅和工业级三氯氢硅，其中电子级三氯氢硅是半导体行业不可或缺的电子特种气体原材料，受生产技术限制，全球仅有美国、日本、德国以及中国等少数国家的企业能够大规模生产，包括德国Wacher公司、日本信越公司、唐山三孚股份等企业。
电子级三氯氢硅生产和制造存在非常高的技术要求，早期受技术限制，我国电子级三氯氢硅及关键原材料主要依赖进口，随着我国半导体产业快速发展，电子级级三氯氢硅需求日益增长，电子级三氯氢硅国产化需求迫切。近年来，在国家政策持续利好、企业研发实力增强的背景下，我国电子级三氯氢硅生产能力逐渐提升，电子级三氯氢硅市场被国外企业垄断的格局已打破。
新思界
行业分析人士表示，三氯氢硅应用领域广泛，伴随我国经济快速发展，三氯氢硅市场需求持续释放。三氯氢硅市场化程度较高，且市场竞争充分，在环保监管趋严、市场优胜劣汰速度加快的推动下，三氯氢硅市场集中度将逐渐提升，同时伴随市场需求升级，以及半导体产业快速发展，未来电子级三氯氢硅市场发展空间广阔。
