ArF光刻胶是半导体光刻胶的主要产品之一,在半导体领域的应用可靠性较高,且是使用最广泛的光刻光源。当前半导体制造中主流的工艺仍旧是8寸和12寸晶圆片,因此ArF光刻胶仍旧是市场主要的光刻胶品种,市场占比达到43%,其中在8寸晶圆片中应用最高,占比为23%。
ArF光刻胶是集成电路领域的关键原材料,主要用于90nm-14nm甚至7nm技术节点的集成电路制造工艺,被广泛应用在高端芯片制造,如5G芯片、逻辑芯片、云计算芯片、AI芯片等领域。ArF光刻胶是目前分辨率最高的光刻胶,其生产技术门槛较高,截止到2019年国内ArF光刻胶完全依赖进口,因此未来进口替代的空间较大。
ArF光刻胶对应的是IC制程节点最为先进的产品,目前甚至能够应用在7nm节点中,且在EUV技术成熟之前,ArF光刻胶仍将是市场主流产品。随着双/多重曝光技术的普及,光刻胶使用次数增长,因此ArF光刻胶的市场规模也将翻倍。
根据新思界产业研究中心发布的
《2021-2025中国ArF光刻胶行业市场现状综合研究及投资前景预测报告》显示,当前国内市场需求的ArF光刻胶主要依赖进口,主要进口自JSR株式会社、东京应化工业、信越化学、信越化学等。ArF光刻胶进口依赖度高,不利于我国半导体产业发展,因此在政策的鼓励下,部分企业布局在ArF光刻胶的研发领域。当前拥有一定技术实力,且实现了产业化突破的企业有宁波南大光电、上海新阳、北京科华、晶瑞股份、江苏汉拓、广州微纳光刻材料。而实现规模化量产的企业有宁波南大光电、博康旗下汉拓光学、广州微纳光刻材料。
虽然我国已经实现了ArF光刻胶生产,但国产产品质量差,和进口产品相比存在折射率、光敏度、分辨率等参数差距。但总体来看,ArF光刻胶行业发展较好,随着半导体产业的快速发展,ArF光刻胶市场需求持续攀升,未来市场发展空间较大。
新思界
产业分析人士表示,光刻胶应用在芯片生产中,受益于人工智能、互联网等技术的快速发展,芯片产需攀升,ArF光刻胶行业发展前景较好。ArF光刻胶属于光刻胶中高端产品,技术门槛高,国内市场主要被进口品牌占据,国内企业经过几年的研究,实现了技术性突破,已有企业达到规模化生产能力,但尚未有商品化产品上市。