高纯六氟乙烷为氟碳类气体，主要用于集成电路生产过程中的等离子蚀刻，以及器件表面清洗等，相比于其他含氟电子气体，六氟乙烷具有无毒及高稳定性的优势。随着集成电路制程逐步进入28mm、14nm乃至7mm，高精度要求决定了其蚀刻过程必须采用高蚀刻率、高精确性的高纯六氟乙烷气体，使其具有了更大的应用前景。
目前，国内外普遍采用的高纯六氟乙烷制备工艺是六氟乙烷提纯法，即使用工业六氟乙烷经过提纯得到高纯六氟乙烷。用工业六氟乙烷提纯法制备高纯六氟乙烷时，由于六氟乙烷的制备工艺路线不同，工业六氟乙烷中所含杂质的种类和含量有一定的差别。三氟一氯甲烷，二氟二氯甲烷和三氯一氟甲烷等氟氯烃副产物，大部分可通过吸附精馏除去，但是有一些杂质性质稳定或能与六氟乙烷形成共沸物，导致吸附精馏无法除去。而微电子工业所用的高纯六氟乙烷，必须纯化到规定浓度以下。
在高纯六氟乙烷生产上，国外与国内的生产技术及流程大体相同，但其净化技术和纯化技术更为成熟，尤其是在纯化技术方面，国外高纯六氟乙烷企业多使用双塔连续精馏，不仅提升了生产能力，同时提高了产品质量的控制能力，使得高纯六氟乙烷的质量更加稳定。与其工艺相配合的催化剂方面，国外的研究起步更早，催化技术更成熟，使之生产出来的高纯六氟乙烷具备更好的质量及性能。
根据新思界产业研究中心发布的
《2021年全球及中国高纯六氟乙烷产业深度研究报告》显示，我国高纯六氟乙烷生产商主要有广东华特气体股份有限公司、中船重工718所、邵武市永飞化工有限公司，南京特种气体厂股份有限公司等，其中广东华特气体股份有限公司是国内最大的高纯六氟乙烷生产企业，国内市场占有率在50%以上。公司采用高效二次精馏技术及节能低温吸附和加压吸附技术相结合，采用专用吸附剂，实现六氟乙烷产品的纯度在99.993%（5N3）以上，长期供应于中芯国际、华润上华、华虹宏力、台积电等知名企业。
新思界
产业研究人员认为，在集成电路、液晶显示、LED等领域，高纯六氟乙烷气体占有很重要的地位，随着集成电路制程，以及电子行业的更新换代，下游对于高纯六氟乙烷的纯度要求也慢慢变高，6N高纯六氟乙烷甚至7N高纯六氟乙烷需求将不断增多，推动行业企业加大技术革新，推动行业技术进步。
