三氯化硼，化学式为BCl3，外观为无色发烟液体或气体状，有刺激性酸味，有毒性，属于危险化学品。三氯化硼易潮解，遇水可分解为氯化氢、硼酸，可溶于醇，并可分解为盐酸、硼酸酯，可溶于苯、二硫化碳等部分有机溶剂。电子级三氯化硼是应用于半导体、集成电路领域的高纯三氯化硼，其纯度需达到99.999%以上。
电子级三氯化硼用于电子产业中，可用在半导体硅器件、集成电路制造过程中的离子注入、扩散掺杂、干法蚀刻等环节中，可对铝、二硅化钼、二硅化钨、钛硅合金等金属、金属化合物、合金材料进行蚀刻，具有较强的不可替代性。电子级三氯化硼杂质含量与纯净度直接影响半导体器件、集成电路的性能指标与成品率，其纯度要求在5N级以上，生产技术壁垒高。
三氯化硼生产是在惰性气体环境中，在一定温度条件下，以硼粉与氯气为原料，进行反应得到粗品，再经精馏制得三氯化硼。电子级三氯化硼是在精制三氯化硼的基础上，采用吸附、蒸馏等工艺进行提纯，得到最终产品。
根据新思界产业研究中心发布的
《2021-2025年电子级三氯化硼行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，由于技术壁垒高，2018年以前，我国不具备电子级三氯化硼生产能力，市场需求依靠进口，主要进口自美国空气化工、美国普莱克斯、英国BOC集团等企业。我国电子产业发展迅速，关键原材料依靠进口不仅价格高昂、供货周期长，在国际政治经济形势多变情况下，供货稳定性也存在风险，不利于我国电子产业发展，国产电子级三氯化硼需求迫切。
2018-2019年，我国陆续有电子级三氯化硼项目建设，例如安徽艾佩科的100吨/年产线，深冷能源的200吨/年产线，太和气体的150吨/年产线。2020年，山东易信环保的100吨/年电子级三氯化硼项目被批准为2020年山东省重点建设类项目；2021年6月，鹤壁德瑞科技年产3000吨电子化学品项目进入环评，其一期项目包括300吨/年电子级三氯化硼产能；海宁英德赛电子的1000吨/年电子级三氯化硼产能预计2021下半年可实现投产。
新思界
行业分析人士表示，我国电子级三氯化硼行业规模正在不断扩大，产能正在不断扩张，若生产的产品质量稳定能够达到下游客户要求，将逐步得到市场认可，在国内市场中的占有率有望不断提升。若目前已建成或正在建设的本土电子级三氯化硼产能能够持续稳定供货，我国电子级三氯化硼进口依赖度将持续下降。
