三氟化硼，属于无机化合物，化学式为BF3，外观为无色气体状，有刺激性臭味，有毒性，有腐蚀性，有窒息性。三氟化硼可溶于冷水，可溶于部分有机溶剂，易水解，在潮湿空气中可分解出剧毒氟化物烟雾，遇水会发生剧烈反应分解生成氟硼酸、硼酸，可侵蚀玻璃，可腐蚀多种金属，遇有机物可发生剧烈反应。三氟化硼属于危险化学品。
三氟化硼制备方法主要有：以三氧化二硼/硼酸盐、氟化氢为原料反应制得；以硼、氟为原料反应制得；以硼碳混合物、氟气为原料反应制得；以硼砂、萤石混合物为原料，与浓硫酸反应制得；以硼酐、氟硼酸钾为原料，与浓硫酸反应制得；以氟硼酸钠为原料，采用热分解法制得。
三氟化硼可用作半导体材料、火箭高能燃料、有机合成催化剂、硼同位素分离原料、化学合成原料、金属合金防氧化剂、环氧树脂固化剂等。高纯三氟化硼可应用于半导体产业中，应用在掺杂、离子注入、氧化扩散、等离子刻蚀、硅/锗外延生长等方面。掺杂是三氟化硼的重要应用领域之一，是常用的硼掺杂产品，可增强硅晶圆电学性质，主要应用于P型半导体生产中。
根据新思界产业研究中心发布的
《2021-2025年三氟化硼行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，我国三氟化硼研究于20世纪50年代已经开始起步，光明化工研究设计院是最早研究三氟化硼的机构，主要研究的是高能燃料用三氟化硼。随着我国半导体产业迅速发展，规模不断扩大，我国市场对电子级高纯三氟化硼需求不断上升，高纯三氟化硼生产技术壁垒高，国内生产企业数量少，产能小。
我国三氟化硼生产商有：润泰化学南通有限公司、华谷化工股份有限公司，这两家企业主要生产三氟化硼系列络合物；山东合益气体股份有限公司，可生产三氟化硼系列络合物以及高纯度三氟化硼气体；博纯材料股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司，这两家企业可生产电子级三氟化硼，但两者产能分别为0.5吨/年、1吨/年，产能小，无法满足国内市场需求。
除国内企业外，日本大阳日酸也进入我国三氟化硼行业布局，其在扬州建设的电子化学品产线中包括三氟化硼产品。新思界
行业分析人士表示，总的来看，我国三氟化硼行业规模偏小，特别是电子级三氟化硼生产能力弱，需求主要依靠进口。未来我国三氟化硼行业拥有较大发展空间，但作为危险化学品，其生产对企业的技术、资质要求高，实力较弱企业难以进入布局。
