甲硅烷，也称为四氢化硅，化学式为SiH4，是硅烷的一种。甲硅烷是提供硅组分的重要气体源，是硅烷中应用比例最大的产品，通常也被直接称作硅烷。甲硅烷常温常压下外观为无色气体状，有类似大蒜气味，有毒性，难溶于水，难溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿、四氯化硅等，对氧气极为敏感，易燃烧，与空气混合有燃烧爆炸危险。
甲硅烷是重要硅源气体，除了可以应用在化工、玻璃等行业以外，高纯甲硅烷还可以应用在半导体、液晶显示、太阳能电池等电子、能源产业中，可用来制造单晶硅、多晶硅、非晶硅、微晶硅、异质硅、氧化硅、氮化硅、金属硅化物等多种产品，在特定温度与压力条件下，甲硅烷还作为超导体使用。甲硅烷地位重要，其他硅源难以取代。
在海外市场中，甲硅烷生产商主要有美国道康宁、美国Entegris、德国赢创、德国林德集团、德国瓦克、日本三井化学、日本信越化学、韩国SK Materials等。经过不断发展，我国甲硅烷生产企业不断增多，生产能力不断增强，产品质量不断提高，可以满足太阳能电池、LED、液晶显示领域需求。随着技术不断进步，芯片制程不断缩小，集成电路领域对甲硅烷的纯度要求进一步提高，我国在超高纯度甲硅烷领域生产企业数量少。
我国甲硅烷生产企业主要有河南硅烷科技发展股份有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、多氟多浙江中宁硅业有限公司、浙江迅鼎半导体材料科技有限公司、内蒙古兴洋科技有限公司、全椒亚格泰电子新材料科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司等。其中，硅烷科技是我国最大的甲硅烷生产商，技术水平先进，具备8N级产品规模化生产能力。
新思界
行业分析人士表示，一直以来，我国芯片市场对外依赖度大，在国际政治经济形势多变、中美贸易摩擦背景下，国内企业正在加快芯片自主生产步伐，现阶段已具备14nm芯片量产能力，并已研发出14nm以下芯片，有望逐步实现量产。在此背景下，我国市场对超高纯度甲硅烷需求将持续攀升，由此来看，拥有8N级甲硅烷量产能力的硅烷科技未来发展潜力大。
