二氯硅烷,也称为二氯二氢硅、二氯氢硅,化学式为SiH2Cl2,英文简称DCS。常温常压下二氯硅烷外观为无色气体状,有特殊气味,有毒性,有腐蚀性,有刺激性,极易燃烧,44℃即可自燃,遇热可分解,遇水可水解,产物为氯化氢气体或盐酸,可溶于乙醚、苯、四氯化碳等有机溶剂,可与乙醇、丙酮发生反应,遇卤素、氧化剂会发生激烈反应。
二氯硅烷制备方法主要有:以硅粉、氯化氢为原料,经反应得到粗品,再经精馏提纯得到成品;以硅烷/一氯硅烷、氯化氢为原料,在三氯化铝存在下进行反应制得;以三氯氢硅为原料,通过还原法进行制备。其中,硅粉氯化氢法可制备高纯二氯硅烷,是主流生产工艺。
二氯硅烷可用作甲硅烷基化剂,可用作原料合成有机硅化合物,高纯二氯硅烷可作为优质半导体硅源材料使用,用于化学气相沉积(CVD)工艺、硅外延片生长过程中。在半导体产业中,二氯硅烷可作为反应气体生成硅原子,并将硅原子沉积在衬底上,从而生产出硅外延片。二氯硅烷是半导体、大规模集成电路制造过程中的重要硅源材料,其需求随着电子产业发展而不断增长。
根据新思界产业研究中心发布的
《2021-2025年二氯硅烷行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示,2019年,全球二氯硅烷市场规模约为5260万美元,预计到2025年将增长至9730万美元左右,年均复合增长率为10.8%,呈现快速上升态势;2019年,中国二氯硅烷市场规模约为260万美元,预计到2025年将增长至589万美元左右,年均复合增长率为14.6%。受益于全球半导体产业逐步向中国大陆地区转移,中国市场对二氯硅烷需求更为旺盛。
在全球市场中,日本是最大的二氯硅烷生产国,其电子级高纯二氯硅烷年产量在全球总产量中的占比达到80%左右,处于垄断地位,信越化学、大阳日酸是领先生产商,信越化学市场份额占比高。与日本相比,我国二氯硅烷行业起步较晚,电子级高纯二氯硅烷生产能力弱,需求进口依赖度大,但我国半导体产业规模庞大,二氯硅烷必须实现进口替代。
2020年11月,唐山三孚电子材料有限公司年产500吨电子级二氯二氢硅项目正式投料试车,2021年1月,产品顺利试充装,项目工艺试车成功,未来,我国电子级二氯硅烷国产化率有望不断提升。新思界
行业分析人士表示,现阶段,我国电子级高纯二氯硅烷市场被日本信越化工所垄断,国产产品品质以及性能稳定性需达到同等级别并得到下游客户认可,才能够与之争夺市场份额。