氙，化学符号为Xe，常温常压下外观为无色无味气体状，是一种稀有气体、惰性气体。根据新思界产业研究中心发布的
《2021-2025年氟化氙行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，氙的化合物主要是氧化物与氟化物，氟化氙有三种，分别是二氟化氙（XeF2）、四氟化氙（XeF4）、六氟化氙（XeF6），均可储存在镍容器或镍合金容器中。整体来看，氟化氙下游应用市场尚未得到良好拓展，相较来说二氟化氙市场开发程度较高，以下具体来看。
三种氟化氙都是以氙气、氟气为原料，按照一定比例混合，在一定温度与压力条件下反应制成。氟添加量的高低可决定最终产物比例，通俗来讲，在一定范围内，氟添加量越低，二氟化氙产量占比越高，氟添加量越高，六氟化氙产量占比越大。例如：氙气、氟气按照1:5的比例在反应器中反应，主要产物是四氟化氙，副产物为二氟化氙、六氟化氙。此外，氙的氟化物还可以采用放电、辐射、光化学反应等方法来制备。
二氟化氙，外观为无色晶体状，室温下易升华形成无色气体，在三种氟化氙中，其化学活泼性最弱，不与二氧化硅发生反应，氧化性与氟化性较为温和。二氟化氙熔点最高，遇水易分解，在碱溶液中易被还原为氙，易溶于无水氢氟酸，可作为氧化剂、氟化剂使用。新思界
行业分析人士表示，二氟化氙作为氟化剂使用安全性高，选择性好，也可用于铀-235分离、新材料制备以及硅表面化学气相刻蚀与清洗等方面，现阶段在化学气相刻蚀方面已经得到大量应用。
四氟化氙，是首个被发现的稀有气体二元化合物，是无色单斜晶系结晶，室温下易升华形成无色气体，其化学活泼性、氧化性、氟化性、熔点均处于二氟化氙、六氟化氙之间，不与二氧化硅发生反应。四氟化氙遇水会发生反应，水解产物为三氧化氙与氙气，与部分有机物接触有燃烧爆炸危险，微溶于无水氢氟酸。四氟化氙主要用作氧化剂、有机化合物氟化剂，此外还可用作核反应堆减速剂。
六氟化氙，一种无色单斜晶系结晶，室温下易升华，气态颜色与二氟化氙、四氟化氙存在差异，为黄色。在三种氟化氙中，六氟化氙化学性质最为活泼，氧化性与氟化性最强，可以与二氧化硅发生反应。六氟化氙熔点最低，遇水可发生反应，水解产物为四氟氧化氙、三氧化氙。六氟化硫可作为强氧化剂与氟化剂使用，由于反应活性强危险性较大，通过改性可用作优良氟化剂。
