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化学放大型光刻胶成为市场主流 光致产酸剂(PAG)市场需求持续攀升

2022-02-26 17:13      责任编辑:张圆    来源:www.newsijie.com    点击:
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化学放大型光刻胶成为市场主流 光致产酸剂(PAG)市场需求持续攀升

  随着现代光刻技术的不断进步,KrF,ArF等光刻胶被广泛应用后,以化学放大技术为基础的紫外光刻胶成为半导体光刻胶的主流,市场需求持续攀升。光致产酸剂(PAG)是化学放大胶主要组成部分,在曝光过程中,PAG能够释放催化量的酸,增加曝光区域和未曝光区域之间的溶解性差异。PAG的产酸效率、产酸强度、热稳定性以及光解后的透明度对光刻胶的性能影响很大。
 
  根据新思界产业研究中心发布的《2021年全球及中国光致产酸剂(PAG)产业深度研究报告》显示,按照原材料化学结构不同,光刻胶可被分为光聚合型、光分解型、光交联型、化学放大型,其中化学放大型是目前最为先进的类型,主要产品有KrF和ArF。化学放大型光刻胶的效果主要来源于PAG,因此随着光刻胶行业的发展,PAG应用需求持续攀升,行业发展前景较好。
 
  根据化学结构的不同,PAG可分为鎓盐类、二甲酰亚胺N-磺酰基类、安息香磺酰酸类、硝基苯磺酸类、砜类、 肟酯类、三嗪类等。PAG的性能将直接影响到光刻胶产品,因此在选择PAG时,需要考虑产品的耐热性、酸效率、透明性、溶解性等性能。
 
  受益于晶圆产业向中国转移,以及国内设备智能化发展,我国光刻胶市场需求较高。2021年我国半导体光刻胶市场规模约为33亿元,按照当前国内半导体发展趋势,预计到2025年国内半导体光刻胶市场规模达到98亿元。KrF和ArF在光刻胶市场占比较高,二者总占比达到70%以上。KrF和ArF光刻胶市场需求持续攀升,带动PAG行业发展。
 
  就行业发展来看,考虑到环保政策影响,未来PAG逐渐向绿色化方向发展,不含氟的PAG得到迅速发展。无氟PAG的使用可以缓解电子工业中使用PFOS、PFAS带来的环境和健康问题。
 
  新思界产业分析人士表示,PAG是化学放大胶主要组成部分,是生成化学放大型光刻胶的重要因素。随着我国半导体产业和光刻技术的不断发展,光刻胶产品逐渐向高端化发展,化学放大型产品成为主流,KrF和ArF占据七成左右市场,利好PAG行业发展。PAG产品类型较多,但由于行业技术门槛较高,市场被日本和美国企业占据,代表性企业有东洋化工、光纯药株式会社、FJIFILM,其中东洋化工是最大供应商。目前内尚未实现光致产酸剂规模化生产,未来市场发展潜力巨大。
 
关键字: 光刻胶 光致产酸剂 PAG