二氯二氢硅,又称二氯硅烷,是指一种化学式为SiH2Cl2的化学物质,常温常压下外观呈无色气体状,有毒,有特殊气味,可溶于苯、乙醚、四氯化碳等多数有机溶剂。根据用途不同,二氯二氢硅可分为电子级二氯二氢硅和工业级二氯二氢硅两大类。
目前二氯二氢硅生产方法主要分为三类,分别为歧化法,是指以三氯氢硅为原料,经过催化歧化反应、分离、提纯等环节生成二氯二氢硅的方法;氯化法,是指以硅粉、氯化氢为原材料,经过化学反应、精馏提纯得到二氯二氢硅的方法;氰化法,是指以四氯化硅、三氯氢硅为原材料,经过化学反应生成二氯二氢硅的方法。其中通过氯化法可制备出高纯度二氯二氢硅产品,是目前主流生产方法。
二氯二氢硅是一类高附加值化工产品,主要应用于电子与化工领域。在电子领域,二氯二氢硅主要作为硅源应用于硅外延生长所采取的气相外延法工艺中,同时,其还可与氮氧化合物反应生成二氧化硅应用于集成电路绝缘层、钝化层制造场景;在化工领域,二氯二氢硅可作为甲硅烷基化剂用于医药与化工产品生产场景。
其中电子是二氯二氢硅主要应用领域,电子级二氯二氢硅主要用于12寸硅外延片生产场景。当前在国内半导体产业快速发展与升级背景下,12寸硅外延片市场渗透率正不断提升,进而带动电子级二氯二氢硅市场需求不断增加,行业展现出良好发展前景。
根据新思界产业研究中心发布的
《2023-2027年中国二氯二氢硅行业市场行情监测及未来发展前景研究报告》显示,我国布局二氯二氢硅市场的企业数量较少,仅有唐山三孚电子材料、洛阳中硅高科技等少数几家,且国内电子级二氯二氢硅需求仍主要依赖于进口。目前全球电子级二氯二氢硅产能仍主要集中在日本地区,主要企业为日本信越化学和大阳日酸。其中近几年来,日本信越化学在全球电子级二氯二氢硅市场中占据份额均高于80%。
新思界
行业分析人士表示,二氯二氢硅是一类新型硅基材料,其主要应用于半导体制造领域。当前在我国半导体产业不断发展与升级背景下,电子级二氯二氢硅作为12寸硅外延片关键硅源,其市场需求不断增加、重要性日益凸显。但目前国内电子级二氯二氢硅需求仍依赖于进口,未来本土企业还需加大技术与产品研发力度,国内电子级二氯二氢硅市场国产替代势在必行。