超纯水，又称UPW，是指电阻率达到18MΩ*cm（25℃）的水。超纯水是为了研制超纯材料而生产的水，水中除了氢离子与氢氧根离子之外，几乎不含任何杂质。超纯水应用领域广泛，在电子、医疗、科学实验、精密仪器、石油、化工、电镀涂装、试剂稀释、光伏电池、核工业等领域均有应用。其中电子是超纯水主要应用领域，在该领域，超纯水主要用于清洗硅片及半导体材料、配置电镀液、冷却设备、硅片氧化等场景，目前已成为影响电子元器件产品质量、成品率的关键材料之一。
集成电路生产过程中八成以上的工序均需使用高纯水，其市场需求空间较为广阔。当前在全球电子信息产业快速发展带动下，集成电路市场规模的不断扩大带动超纯水需求持续提升。根据新思界产业研究中心发布的
《2023-2028年中国超纯水行业市场供需现状及发展趋势预测报告》显示，2022年全球超纯水市场规模已达55.8亿美元，同比增长8.6%。从区域分布来看，中国是全球超纯水最大消费市场，同时，伴随着全球半导体产业向中国转移趋势不断加深，我国超纯水消费规模占比全球总规模正不断扩大。
超纯水制造工艺难度较大，需通过初步吸附过滤、反渗透净化和树脂离子交换三大阶段进行制备，主要流程包括机械过滤、活性炭过滤、反渗透膜过滤、紫外线消解、离子交换树脂、0.2μm滤膜过滤等。目前超纯水制备主要依赖于超纯水设备系统进行，包括预处理系统、反渗透装置、后处理系统、清洗系统和电气控制系统等。
国内超纯水设备企业数量众多，主要有蓝晓科技、嘉洲净化设备、天宇水处理工程、瀚高中联环境科技、欣胜泰水处理环保、艾柯环保设备、春瀚环保设备、莱特莱德超纯水设备、恒诺水处理设备、威立雅水处理设备等。但国产超纯水设备多为处理水平较低的低端设备，无法实现电子级、核电级等高端超纯水生产。
新思界产业分析人士表示，近年来，在我国半导体产业快速发展带动下，超纯水作为影响电子元器件产品质量与成品率的一类关键材料，其市场需求得以持续增加，行业发展前景较好。超纯水制备主要依赖于超纯水设备系统进行，受技术限制，目前国产超纯水设备生产水平还比较低，电子级、核电级等高端品系超纯水生产仍依赖于进口设备，未来本土企业还需加快技术研发力度。
