硼酸三乙酯，又名硼酸乙酯、三乙氧基硼烷，简称TEB，是一种化学式为C6H15BO3的有机化合物，外观呈无色透明液体状，能与乙醇、乙醚混溶，遇水易分解成醇和硼酸。目前硼酸三乙酯主要生产方法是以无水乙醇和硼酐为原材料，在80℃下反应制备硼酸三乙酯的过程。
硼酸三乙酯具有较低的毒性与挥发性，可作为溶剂、催化剂、防腐剂、润滑剂、塑化剂、增塑剂、助溶剂、湿电子化学品等用于涂料、油墨、化工、食品、药品、机械、橡胶、电子等领域，是一类应用广泛的有机化合物。
全球范围内，布局硼酸三乙酯市场的企业主要有美国Entegris、美国Versum Materials、日本Kojundo Chemical Laboratory、日本东横化学等国际企业以及贵州威顿晶磷电子材料、江西佳因光电材料、郑州研德生物科技、张家港雅瑞化工、上海贤鼎生物科技、南通鸿志化工等本土企业。
根据用途不同，硼酸三乙酯可分为工业级硼酸三乙酯与电子级硼酸三乙酯两大类。从细分市场来看，电子级硼酸三乙酯是目前硼酸三乙酯市场主流产品。电子级硼酸三乙酯主要用于晶圆制造的沉积工艺中形成硼磷硅玻璃（BPSG）。硼磷硅玻璃即掺杂有硼和磷的二氧化硅，是一种绝缘介质，主要用于多层金属布线前层间的绝缘层、回流介质层、表面钝化保护层等，是半导体芯片前道制造薄膜沉积工艺所需重要材料。
电子级硼酸三乙酯是一类生产要求较高的电子化学品，其一般要求纯度不低于99.95%、杂质成份至少低于7.5N等，技术壁垒较高。从国内电子级硼酸三乙酯市场来看，当前在全球半导体产业向中国转移趋势不断加深背景下，国内电子级TEB需求不断增加，市场需求空间广阔。贵州威顿晶磷电子是国内电子级硼酸三乙酯代表性企业，公司电子级TEB产品纯度可达99.999995%。新思界
行业分析人士表示，目前国内具备电子级硼酸三乙酯量产能力的企业数量还比较少，未来本土企业还需加快提升技术水平，促进国内电子级TEB生产能力不断提升。
