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光刻胶市场持续发展 中国光刻胶树脂(成膜树脂)国产替代空间大

2023-06-06 17:25      责任编辑:杨又    来源:www.newsijie.com    点击:
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 光刻胶市场持续发展 中国光刻胶树脂(成膜树脂)国产替代空间大
 
        光刻胶树脂(成膜树脂)是生产光刻胶的重要原材料,是用作粘合剂的惰性聚合物,影响光刻胶在特定波长下可达到的线宽,进一步影响光刻胶产品的硬度、柔韧性、附着力等属性。
 
        光刻胶是半导体材料中技术壁垒高的产品之一,光刻胶的研发和量产均需要长期的技术积累,同时大量专利掌握在海外龙头企业中,技术壁垒高;光刻机设备则主要来自于ASML,行业具有较高的设备壁垒;同时光刻胶产品需要经过下游客户验证,行业客户壁垒较高;作为光刻胶原料的树脂、光引发剂等产品主要依赖进口,行业存在原料壁垒。当前中国高端光刻胶产品依赖进口,光刻胶原材料则90%均来源于进口,其中光刻胶树脂有部分中低端成膜树脂国产化。
 
        新思界产业研究中心整理发布的《2023-2028年中国光刻胶树脂(成膜树脂)行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示,成膜树脂主要包括酚醛树脂、聚酯树脂、醇酸树脂、氨基树脂、丙烯酸树脂、环氧树脂、聚氨酯树脂等,不同体系的光刻胶产品对于光刻胶树脂的需求也存在差异。聚乙烯醇肉桂酸酯系负性光刻胶中成膜树脂为聚乙烯醇肉桂酸酯;环氧橡胶-双叠氮负胶中成膜树脂为环氧橡胶;酚醛树脂-重氮萘醌重胶中成膜树脂为酚醛树脂;KrF(248nm)光刻胶的成膜树脂是聚对羟基苯乙烯类聚合物;ArF(193nm)光刻胶的成膜树脂主要为聚甲基丙烯酸酯衍生物等;EUV(13.5nm)光刻胶的成膜物主要有聚酯衍生物、分子玻璃;电子束光刻胶成膜物主要分为聚甲基丙烯酸酯及其衍生物、树枝状聚合物、分子玻璃、有机硅及碳材料等。
  
        半导体领域多数G线(436nm)光刻胶、I线(365nm)光刻胶采用线型酚醛树脂作为成膜树脂,但是由于线性酚醛树脂对250nm以下的光有较强的吸收率且只能激发一次光化学反应,因此更为先进的KrF(248nm) 光刻胶、ArF(193nm) 光刻胶、EUV(13.5nm)光刻胶、电子束光刻胶采用化学放大光刻法。
 
        当前,全球的光刻胶树脂企业主要包含两类,一类是光刻胶厂商,国外企业如信越化学、杜邦等光刻胶企业具有光刻胶能力,同时能生产光刻胶树脂,国内光刻胶企业彤程新材也具备TFT正胶酚醛树脂、LCD光刻胶酚醛树脂的量产能力,同时其多个G/I线酚醛树脂及部分KrF光刻胶树脂已经开发完成;一类为树脂生产商,国外企业如东洋合成、住友电木、三菱化学,国内合成树脂企业圣泉集团具备线型酚醛树脂生产能力。预计伴随着国内半导体产业的持续发展,作为光刻胶重要原材料的光刻胶树脂市场需求将会持续增长,其国产替代具有广阔的市场前景。

关键字: 成膜树脂