电子级乙硅烷（Si2H6）是一种电子特气，其通常以甲硅烷为原材料，经辉光放电、冷却回收、低温精馏等流程制得成品。电子级乙硅烷含硅量较高，具有沉积温度低、沉积速度快等优势，在太阳能电池、集成电路、半导体等众多领域应用广泛。
电子级乙硅烷主要制备方法包括硅烷直接合成法、硅化镁法（小松法）以及六氯乙硅烷还原法三种。硅烷直接合成法指以甲硅烷为主要原材料，经辉光放电、热分解、原子激发等方法制得成品；硅化镁法指以氯化氢（HCl）、硅化镁（Mg2Si）为主要原材料，使二者充分反应后，经分离制得成品；六氯乙硅烷还原法指利用氢化铝锂还原剂，将六氯乙硅烷还原，再经过低温精馏制得成品。
电子级乙硅烷是一种有毒气体，在生产及应用过程中需进行严格把控。近年来，我国政府对电子级乙硅烷行业发展高度重视。2023年5月，国家工信部发布《2023年第一批行业标准制修订和外文版项目计划》，文件明确将“2023-0010T-S 电子级乙硅烷”纳入“新一代信息技术-集成电路”标准项目计划，其项目周期达24个月。未来伴随行业标准逐渐落地实施，我国电子级乙硅烷行业将逐渐往规范化方向发展。
根据新思界产业研究中心发布的《
2023-2028年中国电子级乙硅烷（Si2H6）行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，电子级乙硅烷在太阳能电池、集成电路、半导体等领域应用较多。在太阳能电池领域，电子级乙硅烷可用于生产非晶硅片；在集成电路领域，电子级乙硅烷可用于生产高性能芯片；在半导体领域，电子级乙硅烷可用于半导体PECVD以及LPCVD成膜工艺中。受益于下游行业发展速度加快，电子级乙硅烷市场需求日益旺盛。
电子级乙硅烷行业技术壁垒较高，我国具备其规模化生产能力的企业数量较少，需求高度依赖进口。金宏气体、多氟多、湖州迅鼎、全椒亚格泰、和远气体等为我国电子级乙硅烷市场主要参与者。多氟多为我国电子级乙硅烷代表企业，在建年产能达到100吨。
新思界
行业分析人士表示，作为一种电子特气，电子级乙硅烷应用前景广阔，行业发展速度不断加快。受技术壁垒高、生产成本高等因素限制，我国电子级乙硅烷高度依赖进口。未来伴随行业标准不断完善以及本土企业自主研发实力进一步提升，我国电子级乙硅烷市场国产化进程将有所加快。
