三氟化氮,是一种无机化合物,化学式NF3,常温常压下为不溶于水的无色气体。三氟化氮是一种工业特种气体,具有优秀蚀刻速率和选择性,可以用作氟化剂、反应腔清洗剂、火箭推进剂、及清洗、刻蚀气体,广泛应用于集成电路、显示面板、化工、航空航天等领域。
国家对于工业特种气体的发展持鼓励支持态度。2022年4月,工信部发布《关于“十四五”推动石化化工行业高质量发展的指导意见》,提出实施“三品”行动,提升化工产品供给质量,加快发展高端聚烯烃、电子化学品、工业特种气体、高性能橡塑材料、高性能纤维、生物基材料、专用润滑油脂等产品。三氟化氮作为工业特种气体的重要品类之一,具有良好发展前景。
在市场红利以及国家政策的推动下,三氟化氮国内外参与者众多,行业竞争较为激烈,大型企业在研发实力、创新能力、产品质量、品牌知名度等方面具有较强竞争优势,中小规模企业竞争力相对较弱。现阶段国内三氟化氮代表企业有江苏南⼤光电材料股份有限公司、昊华化工科技集团股份有限公司、中国船舶重工集团公司第七一八研究所等。
三氟化氮是国产化较为成功的特种气体之一,2002年中国船舶重工集团公司第七一八研究所成功研发出纯度高达99.9%的三氟化氮气体,打破了国外技术垄断,并在之后的研究过程不断改进生产工艺、更新生产设备,成功提高产品纯度,降低生产成本。目前国内三氟化氮行业产品质量、生产工艺、性价比等方面已经处于国际领先水平,逐渐从三氟化氮进口国转变为出口国。2022年我国三氟化氮出口量超过3200吨。
新思界
行业分析人士表示,随着我国经济不断发展,半导体、集成电路、电子等产业规模不断扩大,加之三氟化氮质量和性能不断提升,应用领域不断拓展,三氟化氮在未来市场规模将会进一步扩大。国家对环境保护重视程度的不断提高使得三氟化氮行业的环保压力不断增加,生产企业需要在保证产品质量的同时加强环保建设,减少污染排放,推动行业向绿色可持续方向发展。