六氟丁二烯,又称为全氟丁二烯,是一种化学式为C4F6的有机化学物,外观呈无色透明液体状,是一种新型的含氟电子气体,可作为聚合物单体、合成中间体用于合成树脂、含氟物质等化工产品生产场景,也可作为蚀刻气用于半导体蚀刻制程中,市场需求空间较广。
其中半导体是六氟丁二烯主要应用领域,在该领域,六氟丁二烯主要作为电子特气用于半导体蚀刻制程中,与传统的全氟烷烃类(PFCs)刻蚀气相比,六氟丁二烯有着更优异的选择性、环保性、蚀刻精度、蚀刻效率等。
当前在全球半导体产业快速发展背景下,用于刻蚀领域的蚀刻气体需求不断增加,而六氟丁二烯作为一类能够兼顾性能、精度和环保的电子特气,其已逐步成为半导体蚀刻环节所需重要气体之一,市场需求持续增加。2022年全球六氟丁二烯市场规模已达3.5亿美元,同比增长7.2%。
从生产端来看,六氟丁二烯生产方法主要有三氟三氯乙烷法,是指以三氟三氯乙烷为原材料,经过锌粉脱氯、添加氯化碘、汞催化、光照耦合等环节生成中间体六氟四氯丁烷,再经过锌粉脱氯得到六氟丁二烯的方法;三氯甲烷法,是指以三氯甲烷为原材料,经过化学反应制得中间体八氟二溴丁烷或八氟二碘丁烷,再经过脱氯环节生成六氟丁二烯的方法。
我国六氟丁二烯行业起步时间较晚,但在下游市场需求增长驱动下,国内入局六氟丁二烯研发与生产领域的企业正持续增加,主要包括南大光电、中化蓝天、建阳金石氟业、金宏气体、山东飞源气体、和远气体、华特气体、中船特气、中巨芯科技等。未来随着本土企业技术不断升级,我国六氟丁二烯市场国产化水平有望持续提升。
新思界
行业分析人士表示,六氟丁二烯是一类重要的电子特种气体,可广泛用于半导体制程的蚀刻环节。从国内市场来看,当前在国内半导体产业快速发展背景下,六氟丁二烯需求持续增加,行业发展前景良好。但受技术限制,我国六氟丁二烯市场仍由国际企业占据主导地位,未来本土企业还需持续提升技术水平,促进国产化水平不断提升。