四氯化硅又称四氯甲硅烷,为超微细的无水二氧化硅,其性能优良,在半导体、军工、医药等众多领域应用广泛。电子级四氯化硅(SiCl4)为四氯化硅细分产品,指用于半导体制造领域的四氯化硅,其具有纯度高、沸点高等特点,在半导体薄膜沉积与蚀刻工艺中应用较多。
电子级四氯化硅主要原材料为高纯四氯化硅。高纯四氯化硅在光纤预制棒及人造石英等光纤领域需求旺盛。2022年我国高纯四氯化硅产量达到4.5万吨,同比增长7.9%。虽然我国高纯四氯化产量呈增长趋势,但仍无法满足下游应用需求,这为电子级四氯化硅行业发展带来挑战。
电子级四氯化硅、电子级三氯氢硅以及电子级二氯二氢硅为硅烷气代表产品。与其他硅烷气相比,电子级四氯化硅行业技术壁垒更高,我国需求基本依赖进口,美国、日本、德国和韩国为我国主要进口国。近年来,我国企业不断加大对电子级四氯化硅的研发投入力度,已获得多项发明专利。未来伴随研究深入,技术进步,我国电子级四氯化硅市场国产化进程将有望加快。
根据新思界产业研究中心发布的《
2023-2028年中国电子级四氯化硅(SiCl4)行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示,电子级四氯化硅属于高端半导体用电子化学品,在存储芯片、逻辑芯片、硅外延片制造过程中应用较多。受益于国家对半导体产业发展高度重视,我国芯片技术不断进步。2022年我国存储芯片自给率达到近20%,创造历史新高。电子级四氯化硅可用于半导体薄膜沉积与蚀刻工艺中,随着下游行业发展速度加快,我国电子级四氯化硅市场空间将进一步扩展。
我国电子级四氯化硅主要生产商包括联泓新科、三孚股份、和远气体等。三孚股份为我国电子级四氯化硅代表企业,其专注于硅系列及钾系列产品的研发、生产及销售,具备电子级三氯氢硅以及电子级二氯二氢硅稳定生产能力。目前,三孚股份已获得多项硅烷气相关发明专利,其年产500吨电子级四氯化硅项目将于2023年第四季度建设完成。
新思界
行业分析人士表示,作为高端半导体用电子化学品,电子级四氯化硅性能优异,行业发展前景较好。但目前,受技术壁垒高、原材料供应不足等因素影响,我国电子级四氯化硅产能较低,需求高度依赖进口。未来伴随市场需求增长以及本土企业持续发力,我国电子级四氯化硅行业发展速度有望加快。