电子特种气体简称为电子特气，属于工业气体的细分产品之一。电子特种气体种类较多，大致可分为外延气体、稀释气体、刻蚀气体、掺杂气体等，在离子注入、气相沉积、掺杂、刻蚀等生产环节中获得广泛应用。目前，市面上常见的电子特种气体主要有六氟化钨、三氟化氮、磷烷、硅烷、氨气、六氟化硫、乙烯、氯气、氟气等。
电子特种气体主要通过气体合成和纯化两项技术进行生产，可根据不同的气体特征，选择不同气体纯化技术和合成技术。目前，市面上常见的气体纯化技术主要有吸收法、膜分离法、吸附法、精馏法等，气体合成技术主要有电解化学法、电解法、化学法等。
电子特种气体是生产集成电路、显示面板、LED、太阳能电池、芯片等电子产品的重要原材料，与产品的可靠性和良品率息息相关。其中，集成电路为电子特种气体最大的应用领域，占比为42.94%；其次为显示面板，应用占比为21.04%；排名第三的是LED，应用占比为13.15%。
电子特种气体主要应用于集成电路领域，其市场发展与集成电路市场具有一定关联性。集成电路作为一种微型电子器件或部件，在消费电子、通讯、人工智能、汽车电子、工业等领域得到广泛应用。在下游市场需求带动下，集成电路市场需求不断增长，市场规模逐渐扩大。2023年，我国集成电路市场规模为13098亿元，同比增长8.78%。电子特种气体作为生产集成电路的重要原材料，市场需求随之增长。
根据新思界产业研究中心发布的
《2024-2028年中国电子特种气体行业市场行情监测及未来发展前景研究报告》显示，在下游市场需求带动下，我国电子特种气体市场规模逐渐扩大。2023年，我国电子特种气体市场规模约为240亿元。
新思界
行业分析人士表示，国外电子特种气体企业主要有林德集团、空气化工、日本酸素等，国内规模较大的电子特种气体企业主要有昊华科技、金宏气体、华特气体、巨化股份、杭氧股份、雅克科技等。其中，华特气体、杭氧股份两家企业在我国市场中占比较大，已经成为行业内头部企业。早期，我国电子特种气体企业由于起步较晚、生产技术相对落后，被国外企业占据了大部分市场。但随着我国电子特种气体企业快速发展，生产技术水平不断进步，国产化率逐渐增长，未来有望实现完全国产替代。
