甲基三乙氧基硅烷，也称为三乙氧基甲基硅烷，英文简称MTES，化学式为C7H18O3Si，外观为无色液体状，可溶于乙醇、苯等有机溶剂，与强酸、强氧化剂不相容，易水解，具有易燃性，遇明火、高热可燃烧分解。
甲基三乙氧基硅烷制备方法主要是，以甲基三氯硅烷、乙醇为原料，在溶剂存在条件下，于一定温度下进行反应制得。除此之外，甲基三乙氧基硅烷还可以采用硅酸四乙酯、甲基二乙氧基硅烷、1,2-双(甲基二乙氧基硅基)乙烷、二乙氧基甲基乙烯基硅烷等材料进行制备，技术路线较多。
在有机硅工业中，二甲基二氯硅烷是最为重要的有机硅单体，其生产会同时产生多种副产物，甲基三氯硅烷即为其中之一。工业副产物直接排放，不仅会造成环境污染，还会造成资源浪费。在环境保护、可持续发展战略背景下，工业副产物综合利用成为趋势。甲基三乙氧基硅烷生产可以工业副产物甲基三氯硅烷为原料，具有明显经济效益、环境效益。
甲基三乙氧基硅烷主要用作RTV单组份硅橡胶交联剂，也可用作有机合成原料，用来生产硅油、硅树脂等有机硅聚合物，以及甲基二苯基乙氧基硅烷、二乙氧基甲基苯基硅烷等有机硅化合物，还可以用来制备防水剂、织物整理剂、材料表面处理剂、氧化催化剂等。
除此之外，甲基三乙氧基硅烷也可用来制备气凝胶，但气凝胶结构完整度低于以正硅酸甲酯（TMOS）、正硅酸乙酯（TEOS）为原料制得的产品。甲基三乙氧基硅烷可以与正硅酸乙酯共水解获得改性溶胶，注入木材内部进行复合，可得到陶瓷化木材，具有耐水性好、抗压强度高、抗弯曲强度高等优点。
新思界
行业分析人士表示，在海外市场中，甲基三乙氧基硅烷生产商主要有美国陶氏杜邦（Dow DuPont）、美国Gelest、德国瓦克化学（Wacker Chemie AG）、德国赢创（Evonik）、日本信越（Shin-Etsu）等；在我国市场中，甲基三乙氧基硅烷生产商主要有张家港新亚化工有限公司、杭州硅宝化工有限公司、江苏扬子江天悦新材料有限公司等。
