六氟丁二烯又称全氟丁二烯,化学式为C4F6,是一种有机化合物。六氟丁二烯外观呈无色气体,无特殊气味。六氟丁二烯是一种含氟电子特气,其具有绿色环保、无毒、热稳定性好、蚀刻效率高、蚀刻精度高、选择性好等优势,在半导体制造过程中应用较多。
六氟丁二烯制备方法众多,主要包括八氟二溴丁烷法、六氟四氯丁烷法、三氟乙烯基氯化锌法等。近年来,随着研究深入,我国六氟丁二烯相关专利不断增加,包括《一种六氟丁二烯的合成方法》、《一种六氟丁二烯的生产方法和系统》、《一种六氟丁二烯的连续生产方法及其生产用改性催化剂》等。未来伴随本土企业及相关科研机构持续发力,我国六氟丁二烯生产技术将不断进步。
为规范行业发展,我国政府及相关行业协会制定了多项六氟丁二烯行业标准及团体标准。2022年3月9日,由浙江省化工研究院有限公司、中化蓝天氟材料有限公司起草的国家标准《GB/T 41326-2022 六氟丁二烯》正式实施,该标准对于六氟丁二烯的检验规则、技术要求以及试验方法等内容进行了明确规定。未来伴随行业标准不断完善,我国高质量六氟丁二烯市场占比将有所提升。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2029年中国六氟丁二烯(C4F6)行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示,受益于国家政策支持以及技术进步,我国半导体产业发展速度不断加快。六氟丁二烯属于新型含氟电子特气,主要用于半导体刻蚀和清洗环节,与六氟化钨相比,其具有高选择性以及高精确性。在应用需求带动下,我国六氟丁二烯行业发展空间不断扩展。2023年六氟丁二烯占据我国含氟电子特气市场近10%的份额。
在市场竞争方面,全球六氟丁二烯主要生产商包括韩国厚成株式会社、德国梅塞尔集团、日本三井化学株式会社等。在本土方面,我国六氟丁二烯行业起步较晚,需求高度依赖进口。中化蓝天、中船特气、金宏气体、南大光电等为我国六氟丁二烯市场主要参与者。
新思界
行业分析人士表示,六氟丁二烯作为含氟电子特气,综合性能优良,应用前景广阔。未来随着我国半导体产业发展速度加快,六氟丁二烯市场空间将进一步扩展。目前,我国六氟丁二烯行业尚处于起步阶段,具备其规模化生产能力的企业数量极少,市场存在巨大国产替代空间。