四甲基氢氧化铵（简称TMAH）是一种重要的四级铵碱，化学式为[(CH₃)₄N]OH。在现代工业，尤其是电子工业中，四甲基氢氧化铵因其独特的化学性质和应用，成为半导体制造过程中不可或缺的化学品。特别是电子级四甲基氢氧化铵，以其高纯度和稳定性，在光刻、蚀刻及表面清洗等工艺中发挥着至关重要的作用。
在光刻方面，电子级四甲基氢氧化铵作为显影液，能够有效去除未曝光的光刻胶。同时，通过调节电子级四甲基氢氧化铵溶液的浓度和显影时间，可以控制图案的精细度和均匀性，纯度越高的电子级四甲基氢氧化铵产品越能确保显影过程的高选择性和低缺陷率，提高了光刻图案的分辨率和准确性。
在蚀刻方面，电子级四甲基氢氧化铵在蚀刻硅材料时表现出良好的选择性和各向同性蚀刻特性，能够精确地形成微米级甚至纳米级的结构。相比传统的氢氟酸蚀刻，电子级四甲基氢氧化铵具有更高的安全性和环保性，减少了对设备和操作人员的风险。
在表面清洗和处理方面，电子级四甲基氢氧化铵作为表面清洗剂，能够有效去除有机污染物和金属杂质，为后续工艺提供干净的表面。
根据新思界产业研究中心发布的
《2024-2028年中国电子级四甲基氢氧化铵（TMAH）行业市场行情监测及未来发展前景研究报告》显示，2023年，中国境内电子级四甲基氢氧化铵市场保持增长态势，市场销售量达到20万吨，主要基于：一是电子级四甲基氢氧化铵是显示面板、半导体、太阳能电池等制作过程中不可缺少的关键性材料，国家不断加大对包括电子级四甲基氢氧化铵在内的湿电子化学品的政策扶持力度，促进电子级四甲基氢氧化铵行业市场增长；二是下游市场持续发展，带动电子级四甲基氢氧化铵需求，促进销售量增加。
中国电子级四甲基氢氧化铵重点企业包括杭州格林达电子材料股份有限公司、镇江润晶高纯化工科技股份有限公司、沧州信联化工有限公司、无锡三开高纯化工有限公司、湖北兴发化工集团股份有限公司等，电子级四甲基氢氧化铵行业比较集中，市场集中度高。
新思界
产业分析人员表示，电子级四甲基氢氧化铵在半导体制造中发挥着重要作用，尤其是在光刻、蚀刻和表面清洗等工艺中。全球和中国市场对高纯度电子级四甲基氢氧化铵的需求不断增加，推动了生产技术的进步和质量的提升。随着半导体技术的不断发展，电子级四甲基氢氧化铵将继续作为关键化学品，支持着这一高科技产业的持续进步。
