三氟化氮（NF3）是一种无机氟化物，沸点为-129℃，熔点为-207℃，在常温下多表现为是一种无色无味的气体。三氟化氮不溶于水，但在高温条件下容易分解。与其他含氟材料相比，三氟化氮具有生产效率高、操作流程简单、反应速度快等优势，目前已经成为电子特气中用量最大的品种之一。三氟化氮具有一定毒性，与人体长期接触可能对肝和肾造成影响，严重时可能会引起氟中毒。
经过多年发展，三氟化氮的制备工艺已经成熟，大致可分为熔盐电解法、化学合成法等。其中，熔盐电解法具有产品纯度高、生产流程简单等优势，但也有对生态环境不友好等缺点；化学合成法具有安全性较高等优点，但也有杂质含量高、生产条件复杂等缺点。目前，国内仍多采用熔盐电解法进行生产，国外则主要以化学合成法为主。
三氟化氮多作为刻蚀剂、氟化剂、氧化剂、清洗剂等来使用，在半导体、金属加工、环保等领域广泛应用。在半导体领域中，三氟化氮多作为蚀刻剂和清洗剂来使用，凭借其优异的蚀刻速率、对表面无污染等优势，在集成电路（IC）、面板显示（LCD）等清洗环节发挥着十分重要的作用。
近几年，我国半导体行业快速发展，集成电路作为重要的电子元件，市场需求逐渐增长。在此背景下，我国集成电路产能规模逐渐扩大，产量有所增长。根据国家统计局发布的数据显示，2023年，我国集成电路产量为3514亿块，同比增长了6.9%。随着技术水平逐渐进步，芯片的工艺尺寸越来越小，集成电路生产过程中进行刻蚀、清洗的步骤有所增加，带动了三氟化氮市场需求随之增长。
根据新思界产业研究中心发布的
《2024-2028年全球三氟化氮（NF3）行业深度市场调研及重点区域研究报告》显示，随着我国半导体、金属加工等行业快速发展，三氟化氮作为一种基础原料，市场需求逐渐增长。在此背景下，我国三氟化氮市场规模逐渐扩大。2023年，我国三氟化氮市场规模已经超过21亿元。
从进出口角度来看，近几年，我国三氟化氮产能不断扩大，出口量远大于进口量。根据海关总署发布的数据显示，2023年，我国三氟化氮出口量为2545.42吨，出口额为5006.95万美元；进口量为344.23吨，进口额为579.36万美元。
新思界
行业分析人士表示，我国三氟化氮市场中企业数量较多，领先企业主要有昊华科技、中船重工718所、飞源气体、雅克科技、博瑞电子等。近几年，我国三氟化氮企业不断扩大生产规模，在技术、研发等方面逐渐加大投入，在国际市场中的竞争力逐步增强。
