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八氟环戊烯(C5F8)属于新型含氟电子特气 适用于半导体器件蚀刻制程中

2024-06-11 10:04      责任编辑:杨光    来源:www.newsijie.com    点击:
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        八氟环戊烯(C5F8)又称全氟化环戊烯,化学名称为1,2,3,3,4,4,5,5-八氟环戊烯,是一种有机氟化合物。八氟环戊烯具有不可燃、沸点低、纯度高等特点,作为一种含氟电子特气,在半导体器件蚀刻制程中应用较多。

        随着行业景气度提升,我国企业不断加大对于八氟环戊烯制备方法的研究,已获得多项相关专利,包括《一种八氟环戊烯的工业化生产方法》、《八氟环戊烯的制备方法》、《一种电子级八氟环戊烯的提纯方法》、《一种八氟环戊烯的连续化工业制备方法》、《一种八氟环戊烯的合成方法》等。未来伴随技术进步,我国八氟环戊烯产量及质量将有所提升。

        新型含氟电子特气主要包括八氟环戊烯、全氟丁二烯(C4F6)、碳酰氟(COF2)、三氟碘甲烷(CF3I)、三氟化氯(ClF3)、氟甲烷(CH3F)等。六氟丁二烯和八氟环戊烯为较具发展潜力的新型含氟电子特气。与六氟丁二烯相比,八氟环戊烯的保护作用更强,能有效防止半导体器件侧壁被损坏。未来随着新型含氟电子特气行业发展速度加快,八氟环戊烯市场空间将有所扩展。

        根据新思界产业研究中心发布的《2024-2029年中国八氟环戊烯(C5F8)行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示,八氟环戊烯具有刻蚀速率低、碳氟聚合物沉积速率高、可保护器件等特点,在半导体器蚀刻制程中应用较多。近年来,伴随全球半导体产业向我国大陆转移,我国半导体器件产量不断增长,这将为八氟环戊烯行业发展提供有利条件。

        我国八氟环戊烯主要生产商包括中巨芯、中船特气两家。中巨芯专注于电子特种气体、电子湿化学品以及前驱体材料的研发,生产和销售,具备4N纯度八氟环戊烯、6N纯度高纯氯化氢、6N纯度高纯氯气等产品量产能力;中船特气为我国电子特种气体龙头企业,主营产品包括八氟环戊烯、六氟丁二烯、六氯乙硅烷、二异丙胺基硅烷等,据其企业年报显示,2023年公司电子特种气体实现营收14.9亿元。

        新思界行业分析人士表示,受益于我国半导体产业发展速度加快,八氟环戊烯应用需求不断增长。未来伴随新型含氟电子特气行业景气度提升,八氟环戊烯作为其细分产品,市场空间将进一步扩展。近年来,在国家政策支持以及技术进步等积极因素推动下,我国八氟环戊烯行业发展态势持续向好,部分企业已具备其量产能力。
关键字: 八氟环戊烯 C5F8 新型含氟电子特气