按照用途不同，正硅酸乙酯可分为电子级正硅酸乙酯以及工业级正硅酸乙酯两种类型。电子级正硅酸乙酯又称电子级TEOS，属于高纯度有机硅化合物，在电子材料、光电子设备、集成电路、半导体分立器件等领域应用较多。与工业级正硅酸乙酯相比，电子级正硅酸乙酯具有杂质含量低、化学稳定性好等优势。
随着行业景气度提升，我国企业及相关科研机构不断加大对于电子级正硅酸乙酯制备方法的研究，已获得多项相关专利，主要包括《一种电子级正硅酸乙酯的制备装置及制备方法》、《一种电子级正硅酸乙酯、电子级聚硅酸乙酯的合成工艺》、《一种电子级正硅酸乙酯的提纯方法及提纯系统》等。未来伴随技术进步，我国电子级正硅酸乙酯行业发展速度将有所加快。
近年来，为规范行业发展，我国政府及相关行业协会制定了多项电子级正硅酸乙酯行业标准及团体标准。2024年4月，由金宏气体股份有限公司、湖北新蓝天新材料股份有限公司参与起草的国家标准《GB/T 43965-2024 电子级正硅酸乙酯》正式发布，该标准对于沉积二氧化硅用电子级正硅酸乙酯的检验规则以及技术要求等内容进行了明确规定，将于2024年11月1日开始实施。
电子级正硅酸乙酯在电子电气领域拥有广阔应用前景，其作为前驱体材料，可用于制造电子材料、光电子设备、集成电路、半导体分立器件等。在电子材料领域，电子级正硅酸乙酯可利用化学气相沉积工艺（CVD）在晶圆表面制备出高绝缘性二氧化硅薄膜。根据新思界产业研究中心发布的《
2024年全球及中国电子级正硅酸乙酯（电子级TEOS）产业深度研究报告》显示，在应用需求拉动下，我国电子级正硅酸乙酯市场规模不断增长，2023年达到4.6亿元，同比增长6.2%。
我国电子级正硅酸乙酯市场主要参与者包括金宏气体、中硅高科等。金宏气体为我国电子特气龙头企业，拥有8.5N级电子级正硅酸乙酯等高纯正硅酸乙酯产品量产能力。
新思界
行业分析人士表示，电子级正硅酸乙酯综合性能优良，未来伴随我国半导体产业发展速度加快，其市场空间将进一步扩展。目前，我国已拥有多项电子级正硅酸乙酯相关发明专利，未来随着行业标准不断完善以及技术进步，我国高质量产品市场占比将进一步提升。在市场竞争方面，我电子级正硅酸乙酯行业集中度较高，金宏气体占据市场较大份额。
