碳酰氟为环境友好型含氟电子特气之一，具有零消耗臭氧潜能值（ODP）、低全球变暖潜能值（GWP）等特点，可替代全氟化碳（PFC）、三氟化氮等传统产品。碳酰氟又称氟光气、羰基氟、氟化羰，分子式为CF2O，是一种具有刺激性的无色气体，可溶于乙醇和水，遇水可水解排放出剧毒氟化氢、二氧化碳气体。
碳酰氟可用于在半导体制造、有机化工等领域，在半导体制造中，碳酰氟可用作晶圆刻蚀气体、半导体设备清洗气体，在有机化工领域，碳酰氟可用作氟化原料及氟化中间体等。根据纯度不同，碳酰氟分为≥99%、＜99%两类，纯度≥99%的碳酰氟市场占比较高，其主要应用在纯度要求较高的半导体制造领域。
碳酰氟制备方法包括一氧化碳电解氟化法、光气氟化法、二氧化碳氟气氟化法、全氟烷基碘与氧气反应法、九氟丁基乙醚氧化法、四氟乙烯（TFE）氧气氧化法等。各制备方法各有优劣，如TFE氧气氧化法转化率高、选择性好，但原材料成本较高。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2029年中国碳酰氟（氟光气）行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，近年来，随着研究深入，碳酰氟制备技术取得了显著进展，通过工艺技术改进、反应设备优化、分离提纯技术提高等方式，碳酰氟在产率、纯度、质量等方面均实现大幅提升，为碳酰氟应用向新能源、生物医药等领域扩展奠定了基础。
随着环保重视度提升，市场对环保型材料的需求日益旺盛，未来碳酰氟市场发展空间广阔。在全球市场上，日本碳酰氟产业起步较早，生产企业主要有关东化学、昭和电工等。我国碳酰氟产业起步晚，主要布局企业及科研机构有核工业理化工程研究院、天津长芦新材料研究院、泉州宇极、中船重工718所、山东华氟化工、陕西中化蓝天等。
我国企业碳酰氟建设规模普遍较小，如泉州宇极电子级碳酰氟建设规模为5吨/年，中船重工718所碳酰氟为小试生产规模，陕西中化蓝天碳酰氟装置年产量为200吨。整体来看，我国碳酰氟产业还存在较大提供空间。
新思界
行业分析人士表示，碳酰氟为新型气体刻蚀剂和清洗剂，随着全球环保要求不断提升，碳酰氟将不断替代传统刻蚀气体，未来市场发展前景广阔。我国碳酰氟产业起步晚，目前产业化规模仍较小，但整体来说，随着国内技术突破，碳酰氟产业规模处于扩张中。为进一步提高碳酰氟市场竞争力，未来相关企业仍需在制备工艺、反应设备等方面持续探索。
