非蒸散型吸气剂(NEG)薄膜可实现分布式吸气,具有吸气速率高、吸气量大、空间占有率小等优势,是陀螺仪、红外探测器、加速度计、谐振器、振动微镜等微机电系统(MEMS)真空封装的优选材料。
MEMS即微机电系统,是在微电子技术基础上发展起来的高科技电子机械器件,在智能家居、智能汽车、健康医疗、智慧工厂等领域应用广泛,2023年全球MEMS市场规模约145.8亿美元。
大部分MEMS器件需在真空环境下才有良好的工作性能,且MEMS器件封装后,真空度的保持对器件的质量和寿命也有重大影响。吸气剂是MEMS器件获得真空环境的必备材料,随着MEMS技术发展,市场对高性能吸气剂的需求旺盛,非蒸散型吸气剂薄膜是获得和维持超/极高真空系统真空条件的重要材料,市场需求空间广阔。
非蒸散型吸气剂又称涂层型吸气剂,是吸气剂的一类,相比于蒸散型吸气剂,非蒸散型吸气剂不需要蒸发或升华,激活后,常温下即可与活性气体形成稳定化合物进行吸气,对器件无污染。随着技术发展,非蒸散型吸气剂逐渐形成了压制型、多孔烧结型、薄膜型三大类型。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2029年中国非蒸散型吸气剂(NEG)薄膜行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示,非蒸散型吸气剂薄膜技术壁垒高,在国际市场上,仅有意大利赛斯(SAES)公司等少数企业掌握了非蒸散型吸气剂薄膜的制备技术。意大利SAES公司是非蒸散型吸气剂领域,研究生产最早、规模最大、成果最多的企业。
我国非蒸散型吸气剂薄膜发展相对滞后,技术较为薄弱,但为打破国外技术及产品垄断、提高自主话语权,近年来,兰州空间技术物理研究所、有研集团、上海晶维材料等企业和科研机构对非蒸散型吸气剂薄膜展开了一系列攻关,并取得了重要突破。如兰州空间技术物理研究所承担了兰州市十大科技项目“非蒸散型吸气剂薄膜制备技术研究与应用”,实现了镐钴稀土非蒸散型吸气剂薄膜的自主生产,该薄膜初始吸氢速率达74.7cc/s•cm2、吸氢容量达129.4 Pa•cc/cm2。
新思界
行业分析人士表示,随着MEMS技术的发展,MEMS传感器逐渐向小型化、集成化发展,非蒸散型吸气剂薄膜能使在有限空间内提升吸气速率和吸气容量,应用潜力正不断释放。非蒸散型吸气剂薄膜技术壁垒较高,早期我国市场需求依赖进口,但随着国内技术突破,非蒸散型吸气剂薄膜国产替代进程正不断推进。