三氟化氯，又称氯氟化氢，化学式为ClF3，是一种无机化合物，按照用途不同，可分为工业级三氟化氯、电子级三氟化氯两种类型。电子级三氟化氯是一种高纯度三氟化氯，具有腐蚀性强、反应活性高等特点，在半导体制造业的刻蚀工艺中应用较多。
电子级三氟化氯属于电子特气。国家对于电子特气行业发展高度重视，已出台多项鼓励政策，包括《关于“十四五”推动石化化工行业高质量发展的指导意见》、《重点新材料首批次应用示范指导目录（2024年版）》、《产业结构调整指导目录（2024年本）》等。未来伴随国家政策支持，我国电子级三氟化氯行业发展速度有望加快。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2029年中国电子级三氟化氯行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，电子级三氟化氯在半导体制造领域应用较多，能够清洗化学气相沉积腔室，还能够用于硅片刻蚀环节。2023年我国8英寸半导体硅片月均产能达到近300万片。近年来，随着技术进步，我国半导体硅片产能不断扩张，产量持续增长，这将为电子级三氟化氯行业发展带来机遇。
福建德尔科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、四川红华实业有限公司、安徽汇氟新材料科技有限公司等为我国电子级三氟化氯市场主要参与者。德尔科技专注于含氟电子气体以及含氟新材料的研发、生产及销售，为我国电子级三氟化氯代表企业。据德尔科技企业招股书显示，目前公司正在积极推进年产200吨电子级三氟化氯生产线项目建设。
虽然电子级三氟化氯应用前景广阔，但行业发展仍面临一定挑战。一方面，电子级三氟化氯对于纯度及质量要求较高，生产难度较大，需对温度、压力、反应时间等参数进行严格控制，我国具备其核心生产技术的企业数量较少；另一方面，电子级三氟化氯具备毒性及较强腐蚀性，易对环境造成影响，未来随着国家环保政策趋严，其生产将受到一定限制。
新思界
行业分析人士表示，随着全球半导体产业逐渐向我国大陆转移，我国半导体硅片产能将持续扩张，这将为电子级三氟化氯行业发展提供有利条件。但目前，我国电子级三氟化氯行业发展仍面临诸多问题亟待解决，未来本土企业亟需加大研发投入力度，以提升自身技术水平及产品质量。
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