电子级氟化氢，又称电子级氢氟酸，是一种高纯度氟化氢。电子级氟化氢作为电子化学品，具备极高腐蚀性，在半导体制造、光伏发电、显示面板等领域应用较多。按照用途不同，电子级氟化氢可分为UPSSS、UPSS、UPS、UP以及EL五个级别。
提纯为电子级氟化氢制备关键环节，减压蒸馏法、精馏法、气体吸收法、亚沸蒸馏法等为其主要提纯方法。亚沸蒸馏法指先将无水氟化氢置于缓冲槽中，经初级过滤、低温蒸发、提纯等流程制得成品，该法需对温度以及原材料用量进行严格控制，在实验室制备过程中应用较多；气体吸收法具有运行成本低、操作流程简单等优势，可用于批量生产电子级氟化氢。
从细分产品来看，UPSSS级别电子级氟化氢的金属杂质含量不到10ppt，已达到由国际SEMI标准化组织制定的湿电子化学品纯净度最高标准（SEMIG5），为电子级氟化氢市场新兴产品。目前，我国UPSSS级别电子级氟化氢主要用于12寸晶圆刻蚀过程中，未来随着大尺寸晶圆出货量不断增长，其市场需求将日益旺盛。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2029年中国电子级氟化氢行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，从应用领域来看，电子级氟化氢主要应用于半导体制造、光伏发电、显示面板等领域。在半导体制造领域，电子级氟化氢可用于刻蚀硅基板上的二氧化硅层，还可用于晶体管以及其他电子元器件制造过程中；在光伏发电领域，其可用于光伏电池片的清洗制绒环节；在显示面板领域，其可用于液晶显示面板的清洗和刻蚀工序中。在应用需求带动下，我国电子级氟化氢市场规模不断增长，2023年达到近90亿元。
我国已有多家企业具备电子级氟化氢批量生产能力，主要包括中欣氟材、多氟多、锦洋高新材料、巨化股份、晶瑞化学、福多邦等。多氟多为我国电子级氟化氢龙头企业，具备UPSSS级别产品供应能力。据多氟多公司公告显示，2023年公司电子级氟化氢产能达到6万吨。
新思界
行业分析人士表示，电子级氟化氢作为湿电子化学品，在半导体制造领域拥有广阔应用前景。未来随着市场需求逐渐释放，其行业发展速度有望加快。目前，我国电子级氟化氢生产企业众多，未来伴随国家政策支持以及技术成熟度提升，我国高品质电子级氟化氢产能将不断扩张，产量将进一步增长。
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