三氯化硼分子式为BCl3,为无色发烟液体或气体,属危险化学品。根据产品纯度的不同,三氯化硼可以分为99.9%(3N)、99.99%(4N)、99.999%(5N)等系列产品。
高纯三氯化硼主要用于(硅)半导体器件制造工艺中的扩散掺杂(在高温下,经过分解生成硼杂质向硅中扩散,形成P型半导体)、离子注入(作为离子注入源,高能量作用下使硼原子离子化,产生硼离子束并注入硅形成P型浅结)、干法蚀刻(用于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、Wsi等材料的蚀刻)等过程。
根据新思界产业研究中心发布的
《2024-2028年中国三氯化硼市场行情监测及未来发展前景研究报告》显示,美国普莱克斯公司(PRAXAIR)、日本昭和电工、法国液化空气公司(Air Liquide)等国外企业凭借5N以上的高纯三氯化硼产品优势,与国内电子高科技企业长期保持稳定的合作关系,占据了中国三氯化硼行业较多的市场份额。中国三氯化硼行业产业化生产时间短,行业生产能力的正在逐步提升,市场规模有所扩大。
目前,世界上主要的三氯化硼生产企业有日本昭和电工、美国气体化工和普莱克斯、德国林德集团等,这些企业技术水平较高,产品生产工艺成熟,在国际市场具有较强竞争力,国内每年需要从这些国家进口纯度较高的三氯化硼产品。而国内企业生产的三氯化硼产品,主要出口至国外中低端市场。
三氯化硼的下游行业主要是半导体、有机合成、高纯硼、硼化合物、金属冶炼等行业。以半导体为代表的电子工业是国民经济不可缺少的基础和支柱,在国防和军事上有不可替代的作用,为三氯化硼的需求增长提供了良好的市场机遇;
在有机合成领域,三氯化硼常用于苯乙烯等有机反应的催化剂,而苯乙烯工业上是合成树脂、离子交换树脂及合成橡胶等的重要单体;有机硼化合物除在有机合成方面有广泛的应用外,还可用作聚合反应的引发剂、煤油抗氧剂、杀菌剂等。
新思界
产业研究人士认为,我国产业结构的调整和战略性新兴产业的发展极大地拓展了特种气体的应用领域,多晶硅、磁性材料、电子半导体等新兴行业的快速增长,为三氯化硼行业打开了广阔的市场空间。
在新的形势下,我国三氯化硼行业必须把握产业发展新趋势、新热点,树立新思路,采取新举措,突破新技术,拓展新市场,提供新产品、新服务,加快国产化进程,强化产业竞争力。
关键字: