电子级三氟化氮，又称电子级NF3，是一种重要含氟电子特气。电子级NF3具备化学稳定性好、毒性低、腐蚀性高等特点，在微电子制造领域拥有广阔应用前景。
近年来，国家对于电子级NF3行业发展高度重视，已出台多项鼓励政策，主要包括《工业战略性新兴产业分类（2023）》、《重点新材料首批次应用示范指导目录（2024年本）》、《产业结构指导调整目录（2024年本）》等。未来伴随国家政策支持，我国电子级NF3行业发展速度有望加快。
电子级NF3制备方法包括高温反应法、电解法、氮气氢氟酸法、直接化合法等。直接化合法指以氨气、氟气、氟化氢铵等为原材料，在一定温度、压力条件下充分反应，进而制得成品，该法具有操作流程简单、原材料易得等优势；电解法又称氟化氢铵熔融盐电解法，该法具有成品收率高、技术成熟度高等优势，为电子级NF3主流制备方法。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2029年中国电子级三氟化氮（电子级NF3）行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，电子级NF3具备选择性高以及蚀刻速率高等优势，在微电子制造领域拥有广阔应用前景。电子级NF3作为等离子蚀刻气体，能有效去除微电子器件表面多余的氧化硅、多晶硅等杂质。近年来，随着全球半导体产业向我国大陆转移，我国集成电路等微电子器件产量持续提升。据国家工信部统计数据显示，2024年前三季度我国集成电路产量达到3156亿块，同比增长26%。未来伴随应用需求增长，我国电子级NF3行业发展空间有望扩展。
我国电子级NF3主要生产商包括江苏南大光电材料股份有限公司、南京德长新材料有限公司、华特气体股份有限公司、广州广钢气体能源股份有限公司、昊华化工科技集团股份有限公司等。南大光电主营产品包括含氟电子特气、含氢电子特气等，目前公司正在积极推进8400吨高纯电子级三氟化氮生产项目建设。据南大光电企业半年报显示，2024年上半年，公司特气产品实现营收7.2亿元。
新思界
行业分析人士表示，电子级NF3作为电子特气，在微电子制造领域拥有广阔应用前景，未来伴随下游行业发展速度加快，其市场空间将进一步扩展。受益于国家政策支持以及技术进步，我国电子级NF3行业发展态势持续向好。预计未来一段时间，随着本土企业持续发力，我国电子级NF3产能将进一步扩张。
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