三氯化硼，化学式为BCl₃，是一种无机化合物。高纯三氯化硼，指纯度达到5N级以上的三氯化硼，具有腐蚀性、还原性、熔点高、纯度高等特点，在半导体制造领域拥有广阔应用前景。
提纯为高纯三氯化硼制备关键环节，化学吸附法、物理吸附法、低温精馏法等为其主要提纯方法。低温精馏法能够对于三氯化硼所含杂质进行深度去除，为高纯三氯化硼常用提纯方法。
高纯三氯化硼作为一种电子特气，在半导体器件制造领域需求旺盛，其可参与干法蚀刻、离子注入、扩散掺杂等工艺环节。近年来，随着全球半导体产业向我国大陆转移，我国集成电路产量不断提升。据国家工信部统计数据显示，2023年我国集成电路产量达到3514亿块，同比增长6.9%。受益于下游行业发展速度加快，我国高纯三氯化硼应用需求不断增长。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2029年中国高纯三氯化硼行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，2023年我国高纯三氯化硼市场规模达到近7亿元，同比增长超过15%。未来伴随技术进步，我国高纯三氯化硼行业景气度将进一步提升。预计到2029年，我国高纯三氯化硼市场规模将突破15亿元。
在行业发展初期，受技术壁垒高、生产成本高等因素限制，我国高纯三氯化硼高度依赖进口。日本艾迪科株式会社（ADEKA）、日本昭和电工株式会社（Showa Denko KK）、日本大阳日酸株式会社（TAIYO NIPPON SANSO）等为全球知名高纯三氯化硼供应商，同时占据我国市场主导地位。近年来，随着国家政策支持以及本土企业持续发力，我国高纯三氯化硼市场国产化进程有所加快。
我国高纯三氯化硼主要生产商包括科利德、久策气体、国顺硅源、远创气体等。科利德具备6N5级高纯三氯化硼自主研发及批量生产实力，其产品质量及技术水平已达到全球领先。据科利德企业招股书显示，2022年公司高纯三氯化硼产能利用率达到62.3%。
新思界
行业分析人士表示，随着我国集成电路等半导体器件产能扩张、产量增长，高纯三氯化硼作为电子特气，应用需求日益旺盛。与日本等海外发达国家相比，我国高纯三氯化硼行业起步较晚，但发展势头迅猛。本土企业已具备高品质高纯三氯化硼自主研发及生产实力，未来我国国产产品市场占比将不断提升。
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