氧硫化碳化学式为COS，是一种无机化合物，常温常压下外观为无色气体状，有臭鸡蛋气味。普通氧硫化碳的纯度一般在95.0%-99.9%，是合成硫代氨基甲酸酯系列除草剂的通用中间体及重要医药中间体；电子级氧硫化碳产品的纯度一般在4N（99.99%）及以上，主要用作集成电路制造的蚀刻气。
20世纪末，中国开始研究并生产氧硫化碳产品，其合成方法较多，主要有干法和湿法两大类。干法合成流程简单、收率高，从成本和原料来源考虑，工业生产一般采用干法，但有比较多的杂质；湿法合成由于溶剂水的存在，容易使氧硫化碳产品进一步分解成杂质，增大提纯难度，且湿法产生的废水难以处理，不适合大规模量产。现阶段，中国氧硫化碳行业生产工艺以干法工艺为主，同时，为满足电子工业的高纯度要求，中国氧硫化碳行业内企业及研究机构加强科研创新力度，在制备成本、工艺优化、纯度提升等方面加大投入力度，大大提升了国内氧硫化碳行业整体的技术水平，部分企业的氧硫化碳产品规格已经覆盖3N、4N、5N等规格。
氧硫化碳应用较广泛，如在石化领域可用于生产元素硫或硫化物等含硫化学品及润滑油添加剂等特殊化学品，在农药领域可用于生产苄草丹、茵达灭、禾草丹等，在环境保护方面可以用于去除烟气中的二氧化硫和氮氧化物等污染物，在电子工业领域可作为刻蚀气体用于生产环节。国内氧硫化碳行业下游用户以农药生产企业和电子工业领域企业为主，农药领域中南通泰禾公司自产自用大量氧硫化碳产品，使得国内农药领域氧硫化碳需求占比较大，而电子工业领域用户需求占比较低。
近年来，研究人员发现高纯度的氧硫化碳可用作集成电路制造的蚀刻气，从而代替难以降解并具有温室效应的氟化物蚀刻气。随着各国政府对环保的日益重视，氧硫化碳这种对环境影响小于氟化物的气体作为电子芯片制造、光伏、LED等行业的原辅料气越来越受到关注，市场需求增长。根据新思界产业研究中心发布的
《2024-2028年氧硫化碳行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，2023年，我国氧硫化碳需求量约为3000吨，同比增长6%。
新思界
行业分析人士表示，未来，随着中国经济持续发展，中国将继续大力支持电子工业发展，氧硫化碳作为一种重要的电子特气产品，其需求将会随着中国电子工业的发展而持续提升，同时随着中国环保政策越来越严格，氧硫化碳在环保领域的应用有望得到提升，进一步推动中国氧硫化碳需求的增长，因此，未来中国氧硫化碳行业需求仍有较大增长空间。
