超高纯正硅酸乙酯（TEOS）技术含量高 主要应用于高技术产业

　　超高纯正硅酸乙酯，是指纯度在99.999%（5N）级别及以上的正硅酸乙酯，主要应用在高技术产业中。

 

　　正硅酸乙酯，也称作原硅酸乙酯或者直接称作硅酸乙酯，英文简称TEOS，分子式为C8H20O4Si，外观为无色透明液体状，有刺激性气味，有毒性，遇水可分解，可溶于部分有机溶剂，易燃烧，与空气混合有爆炸危险。正硅酸乙酯可以广泛应用在电子绝缘、金属表面处理、光学玻璃、涂料、粘结剂、有机合成、溶剂等领域。

 

　　根据新思界产业研究中心发布的《2025-2030年中国超高纯正硅酸乙酯（TEOS）行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，工业级正硅酸乙酯的纯度通常≥98%，超高纯正硅酸乙酯的纯度≥99.999%（5N），其金属离子含量、氯离子含量、颗粒物、水分等需要严格控制。超高纯正硅酸乙酯主要应用在半导体、集成电路、显示面板、光伏发电等领域，例如用于栅极电介质薄膜沉积、集成电路电绝缘薄膜沉积、TFT-LCD绝缘薄膜沉积、太阳能电池钝化层沉积等方面。

 

　　在超高纯正硅酸乙酯中，电子级正硅酸乙酯的技术含量更高。我国2024年11月1日正式实施的国家标准（GB/T 43965-2024）《电子级正硅酸乙酯》中，光伏用超高纯正硅酸乙酯纯度指标6N（99.9999%）、平板显示用超高纯正硅酸乙酯纯度指标8N（99.999999%）、集成电路用超高纯正硅酸乙酯纯度指标9N（99.9999999%）。

 

　　正硅酸乙酯制备通常是以四氯化硅（SiCl4）、无水乙醇（C2H6O）为原料，通过酯化反应制备得到粗品，经蒸馏工艺除去副产物氯化氢（HCl），再经冷却、中和、精馏等环节制得工业级正硅酸乙酯。在工业级正硅酸乙酯的基础上，采用水解-蒸馏、吸附-精馏、膜过滤-吸附、络合-蒸馏等工艺进行纯度提升，可获得超高纯正硅酸乙酯。

 

　　从应用领域来看，集成电路市场对超高纯正硅酸乙酯需求量大，主要受5G通信、人工智能等产业对高性能芯片需求增长推动。在此背景下，全球范围内，9N（99.9999999%）及以上超高纯正硅酸乙酯需求占比达到50%以上。与工业级正硅酸乙酯相比，超高纯正硅酸乙酯特别是电子级正硅酸乙酯技术含量高、产品附加值高，生产企业核心竞争力强、营收能力强。

 

　　新思界行业分析人士表示，2024年，全球电子级正硅酸乙酯市场规模约为9.2亿美元。在海外市场中，超高纯正硅酸乙酯生产商主要有美国英特格，韩国SoulBrain、日本艾迪科等；在我国市场中，超高纯正硅酸乙酯生产企业主要有贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司、苏州金宏气体股份有限公司等。

 

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