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PHS树脂(聚对羟基苯乙烯树脂)可用于制备KrF光刻胶 本土企业正在积极推进产能建设

2025-09-10 17:11      责任编辑:杨光    来源:www.newsijie.com    点击:
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        2025年6月,八亿时空旗下子公司浙江时光新能源年产50吨高端光刻胶树脂(PHS)和200吨光敏聚酰亚胺(PSPI)项目通过环评审批,项目总投资额达2亿元。未来随着本土企业持续发力,我国PHS树脂产能将进一步扩张。

        PHS树脂,又称聚对羟基苯乙烯树脂,通常以对羟基苯乙烯为单体聚合而成。PHS树脂的主链由苯乙烯单元构成,侧链带有羟基官能团,具备化学相容性、感光性以及热稳定性,作为光刻胶树脂,在KrF光刻胶生产过程中应用较多,半导体制造领域为其终端市场。

        随着本土企业及相关科研机构持续发力,我国PHS树脂专利数量不断增加,主要包括《一种光刻胶用PHS树脂的选择性水解制备方法》、《一种分子量窄分布且高透光性PHS树脂及其合成方法与应用》、《一种PHS树脂的制备方法》等。未来随着研究深入,我国PHS树脂技术水平将得到进一步提升。

        根据新思界产业研究中心发布的《2025-2030年中国PHS树脂(聚对羟基苯乙烯树脂)行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示,PHS树脂属于光刻胶专用树脂,可用于制备KrF光刻胶。近年来,伴随全球半导体产业逐渐向我国大陆转移,我国光刻胶行业发展态势持续向好。KrF光刻胶适用于8英寸晶圆制备过程中。在行业发展初期,受技术壁垒高、生产成本高等因素限制,全球KrF光刻胶供应较为短缺,市场主要集中于日本、美国和韩国。近年来,伴随技术进步,我国KrF光刻胶国产化率有所提升,这将为PHS树脂行业发展提供有利条件。

        全球PHS树脂主要生产企业包括日本东曹株式会社(TOSOH)、日本信越化学株式会社(Shin-Etsu)、美国杜邦公司(DuPont)等。在本土方面,随着技术成熟度提升,我国已有多家企业布局PHS树脂行业研发及生产赛道,主要包括八亿时空、彤程新材、华飞微电子、北旭电子、秀朗新材料等。八亿时空为我国PHS树脂代表企业,其产品的分子量分布、单体溶剂残留控制以及金属离子杂质控制等关键指标已达到全球先进水平。

        新思界行业分析人士表示,受益于我国半导体产业发展速度加快,PHS树脂作为光刻胶专用树脂,市场空间将进一步扩展。与海外发达国家相比,我国PHS树脂行业起步较晚,但发展势头迅猛,已有多家企业具备其自主研发及规模化生产实力。未来随着技术进步,我国PHS树脂行业景气度将进一步提升。
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