四氟化硅，化学式为SiF4，是一种无机化合物。四氟化硅外观呈无色气体，含刺激性气味，可溶于硝酸、乙醇和氢氟酸，不溶于乙醚。四氟化硅具备腐蚀性强、反应活性高等特点，在电子电气、光伏发电、化工合成以及建筑工程等领域应用较多。
四氟化硅制备方法包括氟硅酸盐热解法、硫酸法、含Si源物质与含F基团物质合成法、氟硅酸法等。氟硅酸盐热解法指以金属氟硅酸盐为主要原材料，经过高温分解制得成品，该法具备绿色环保、生产成本低、成品纯度高等优势；硫酸法可细分为氟硅酸盐-浓硫酸法、氟硅酸-硫酸法以及括萤石-浓硫酸法等；氟硅酸法具备工艺流程简单、反应稳定性高、成品质量好等优势，适合进行连续化生产。
四氟化硅应用范围较广，主要包括电子电气、光伏发电、化工合成以及建筑工程等。在电子电气领域，高纯四氟化硅作为电子特气，可用于芯片等离子刻蚀工艺、氮化硅薄膜沉积工艺中。在光伏发电领域，四氟化硅可用于制备光伏薄膜，产品能有效提升光伏电池的光电转换效率；在化工合成领域，其可用于二氧化硅、氟化铅以及氟硅酸制备过程中；在建筑工程领域，其作为硬化剂，可用于制造人造大理石以及水泥。
根据新思界产业研究中心发布的《
2025-2029年全球及中国四氟化硅（SiF4）行业研究及十五五规划分析报告》显示，电子电气领域为四氟化硅主要需求端。近年来，随着全球半导体产业向我国大陆转移，我国芯片产量持续增长。据国家工信部统计数据显示，2024年我国芯片产量达到4514亿块，同比增长22.2%。未来随着下游行业发展速度加快，我国四氟化硅市场规模将进一步增长。
全球四氟化硅主要生产企业包括美国空气产品、美国联合化学、日本三井化学、日本关东电化等。在本土方面，我国四氟化硅市场主要参与者包括中船特气、多氟多、华特气体、威斯特气体等。威斯特气体正在推进年产41吨电子新材料项目建设，该项目包含四氟化硅、三氟化磷、五氟化锑等产品。
新思界
行业分析人士表示，四氟化硅性能优异，在众多领域需求旺盛。未来随着我国半导体行业发展速度加快，高纯四氟化硅市场空间将得到进一步扩展。受市场前景吸引，我国已有多家企业布局四氟化硅行业研发及生产赛道，未来其产能将进一步扩张。
关键字：
