乙基三乙酰氧基硅烷，别名乙基硅三醇三乙酸乙酯，分子式为C8H14O6Si，分子量为234.28，外观为无色至淡黄色透明液体状，有刺激性气味，吸入有毒，密度1.14g/mL，熔点7-9℃，沸点216.1℃，闪点106℃，可溶于醋酸酐，遇水可水解，对湿度敏感，储存时需密封以隔绝空气中的水气。
乙基三乙酰氧基硅烷的制备方法主要包括：以乙基三氯硅烷、醋酸酐为原料进行反应制得，副产物为乙酰氯，此法工艺成熟、反应效率较高、转化率较好，是乙基三乙酰氧基硅烷的主流生产工艺；以乙基三氯硅烷、乙酸银为原料通过反应制得，以乙基三氯硅烷、乙酸为原料反应制备，有机氨基硅烷酰氧化法，有机烷氧基硅烷酰氧化法等，这几种工艺存在原料成本高、转化率低、副产物处理难度大、设备腐蚀严重等问题，工业上较少采用。
乙基三乙酰氧基硅烷的分子结构中包含乙酰氧基官能团，暴露在空气中接触水气，会通过水解反应生成硅醇、醋酸，硅醇再通过缩合（交联）反应形成硅氧烷网络结构。乙基三乙酰氧基硅烷的热稳定性略有不足，受热可分解为醋酸、烯烃、聚硅氧烷。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025年中国乙基三乙酰氧基硅烷市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，乙基三乙酰氧基硅烷是单组分室温硫化硅橡胶（RTV-1）的交联剂，主要用于酸性硅酮密封胶制备方面，能够提升酸性硅酮密封胶的粘接强度、拉伸强度，并会影响其固化速率。RTV-1包括脱酸型RTV-1、脱醇型RTV-1、脱胺型RTV-1、脱酮型RTV-1等类型，酸性硅酮密封胶属于脱酸型RTV-1。乙基三乙酰氧基硅烷用作酸性硅酮密封胶的交联剂时，暴露于空气遇水可水解交联产生醋酸并使密封胶固化。
除交联剂领域外，乙基三乙酰氧基硅烷也可以用作有机硅中间体、硅基化试剂、酰氧化试剂、羟基清除剂、玻璃纤维表面处理剂等。在玻璃纤维表面处理剂方面，通过乙基三乙酰氧基硅烷处理，能够明显增强玻璃纤维与树脂基体（例如环氧树脂）之间的界面结合力，从而稳定/提升复合材料的机械强度、耐久性等性能。
新思界
行业分析人士表示，在我国，湖北新蓝天新材料股份有限公司、湖北德众化工有限公司等能够生产乙基三乙酰氧基硅烷。同时我国乙基三乙酰氧基硅烷产能还在增大，湖北今越新材料有限公司“年产3600吨有机硅光电子产品及2800吨乙酰氯项目”于2025年1月环评一次公示，其中包括800吨/年的乙基三乙酰氧基硅烷有机硅交联剂装置。
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