乙基三氯硅烷，别名三氯乙基硅烷，化学式为C2H5Cl3Si，分子量为163.506，外观为无色透明液体状，有毒性，有刺激性，密度1.238g/cm3，熔点-106℃，沸点99℃，闪点22℃，可溶于溶于乙醚、苯、庚烷等有机溶剂，可燃烧，存储需密封并远离火种、热源、氧化剂。
乙基三氯硅烷的制备方法主要有：以四氯化硅、金属镁、溴乙烷为原料，在一定温度条件下通过格氏反应制得，此法成本高、产率较低，通常应用在实验室中；以硅粉、氯乙烷为原料，添加铜催化剂，在高温条件下进行反应得到粗品，再经精馏分离得到成品，此法原料易得，可连续化大规模生产，但副产物较多，需采用有效精馏技术进行分离纯化。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025年中国乙基三氯硅烷市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，乙基三氯硅烷是一种重要的硅烷中间体。例如：以乙基三氯硅烷、醋酸酐为原料进行反应，产物为乙基三乙酰氧基硅烷、乙酰氯，此法是乙基三乙酰氧基硅烷的主流生产工艺。乙基三乙酰氧基硅烷是脱酸型单组分室温硫化硅橡胶（RTV-1）的交联剂，主要应用在酸性硅酮密封胶中，接触空气中的水分后可使密封胶固化，同时提升密封胶强度。
通过亲核取代反应，在一定温度条件下，乙基三氯硅烷与甲醇反应可以制备乙基三甲氧基硅烷，与乙醇反应可以制备乙基三乙氧基硅烷，副产物均为氯化氢。乙基三甲氧基硅烷、乙基三乙氧基硅烷可以用作硅烷偶联剂、有机合成中间体。
由于乙基三氯硅烷是生产硅烷的中间体，有实力的企业在建设有机硅交联剂、有机硅偶联剂等生产项目时，通常会配套建设乙基三氯硅烷产能。例如，2025年1月，湖北今越新材料有限公司“年产3600吨有机硅光电子产品及2800吨乙酰氯项目”环价一次公示，项目投产后具有年产1000吨甲基三乙酰氧基硅烷，1000吨丙基三乙酰氧基硅烷，800吨乙基三乙酰氧基硅烷有机硅交联剂，800吨乙基三氯硅烷等生产能力。
新思界
行业分析人士表示，与丙基三氯硅烷相比，我国乙基三氯硅烷生产企业数量较少，生产规模较小，主要是由于其下游硅烷偶联剂、硅烷交联剂等产品市场需求较小，导致其价格较高，但在部分对性能有特殊要求的酸性硅酮密封胶制备领域，其下游产品乙基三乙酰氧基硅烷仍拥有发展空间，因此乙基三氯硅烷拥有良好发展前景。
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