高纯硅烷气，指纯度达99.9999%（6N）以上的特种气体。高纯硅烷气外观呈无色气体，含刺激性气味，具备反应活性高、纯度高等特点，在电子电气、光伏电池、锂离子电池制造过程中拥有巨大应用潜力。
歧化法、镁硅法、氯硅法、ZSN法为高纯硅烷气主要制备方法。歧化法为高纯硅烷气传统制备方法，美国UCC公司率先采用该法制得成品。歧化法具备成品收率低、能耗高、制备流程复杂等问题，目前已被ZSN法等新兴制备方法所替代。ZSN法为我国企业自主研发的高纯硅烷气制备方法，具备绿色环保、能耗低、运行成本低等优势，适合进行连续化生产。
根据新思界产业研究中心发布的《
2025年中国高纯硅烷气市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，高纯硅烷气作为一种电子特气，在众多领域拥有巨大应用潜力，主要包括电子电气、光伏电池、锂离子电池等。在电子电气领域，高纯硅烷气可用于集成电路以及显示面板制造过程中；在光伏电池领域，其可用于制造TOPCon光伏电池的多晶硅薄膜和钝化层结构；在锂离子电池领域，其可用于制造锂离子电池硅碳负极材料。未来伴随下游行业发展速度加快，我国高纯硅烷气市场空间将得到进一步扩展。
在行业发展初期，受技术壁垒高、生产成本高等因素限制，我国高纯硅烷气高度依赖进口。美国REC Silicon公司、德国瓦克化学公司（Wacker）、日本德山株式会社（TOKUYAMA）等为全球知名高纯硅烷气供应商。目前，REC Silicon已与美国新能源技术公司Sila Nanotechnologies达成合作，为其批量供应高纯硅烷气。
近年来，随着本土企业持续发力，我国高纯硅烷气市场国产化进程有所加快。我国高纯硅烷气主要生产企业包括硅烷科技、中能硅业、天瑞硅材料等。硅烷科技为中国平煤神马集团控股子公司，专注于氢硅材料的研发、生产及销售，已具备8N级高纯硅烷气规模化生产实力，技术水平位居我国行业领先。天瑞硅材料拥有多项高纯硅烷气相关专利，目前正在推进5000吨/年硅烷气充装项目建设。
新思界
行业分析人士表示，高纯硅烷气在众多领域拥有广阔应用前景，未来随着下游行业发展速度加快，其市场空间将得到进一步扩展。与海外发达国家相比，我国高纯硅烷气行业起步较晚，但发展势头迅猛，已有多家企业掌握其高性能产品核心制备技术。
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