电子级甲基三氯硅烷，是一种高纯度有机硅化合物，其纯度通常达到99.99%以上，金属离子含量低于1ppb。
甲基三氯硅烷（MTS），又称三氯甲基硅烷，化学式为CH3Cl3Si，外观呈无色或淡黄色透明液体，溶于苯、乙醚，其制备工艺包括气相合成法、液相合成法等。甲基三氯硅烷是有机硅工业的核心单体，可用于硅树脂、硅油、硅橡胶等材料的合成，电子、涂料、橡胶等为终端应用领域。电子级甲基三氯硅烷纯度更高，是专用于电子行业的一种材料。
在电子领域中，电子级甲基三氯硅烷主要用作电子封装材料。在政府出台多项政策提供大力支持、集成电路等多领域突破关键技术、下游行业需求日益旺盛利好下，我国电子行业发展趋势持续向好。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025-2029年全球及中国电子级甲基三氯硅烷行业研究及十五五规划分析报告》显示，根据工业和信息化部数据显示，2025上半年，我国规模以上电子信息制造业增加值同比增长11.1%，同时实现营业收入为8.04万亿元，同比增长9.4%，实现利润总额为3024亿元，同比增长3.5%。我国电子行业维持增长，为电子级甲基三氯硅烷等相关原材料需求释放提供有利条件。
我国电子级甲基三氯硅烷市场生产企业包括和远潜江电子材料有限公司、保定市北方特种气体有限公司、沁阳国顺硅源光电气体有限公司等。2024年6月，和远潜江电子材料有限公司“年产1300吨甲基三氯硅烷项目”环评文件受理公示，其中包括1000吨/年电子级甲基三氯硅烷。
2025年7月，西安西飞领航科技有限公司、保定市北方特种气体有限公司投资实施“硅基新材料产业链一体化项目”，其中包括年产5000吨电子级硅烷、3000吨电子级甲基三氯硅烷，该项目将分两期建设。随着相关企业加快进行产能布局，我国电子级甲基三氯硅烷行业产能将进一步扩大。
新思界
行业分析人士表示，电子级甲基三氯硅烷是甲基三氯硅烷行业主要细分品类，其纯度高、性能优异，在电子领域具有极大应用价值。伴随着生产技术进步、电子行业持续增长，我国电子级甲基三氯硅烷市场仍具有发展空间。目前我国已有多个企业布局电子级甲基三氯硅烷生产赛道，预计未来该行业产能规模将不断扩大，而具有大规模生产、高产品品质优势的企业有望占据更大市场空间。
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