五（二甲氨基）钽，简称PDMAT，化学式为C10H30N5Ta，是一种金属有机化合物。五（二甲氨基）钽外观呈橙色晶体，分子结构由钽原子和五个二甲氨基配体组成，具备热稳定性好、蒸气压低等特点，作为前驱体材料，在原子层沉积（ALD）工艺以及化学气相沉积（CVD）工艺中应用较多。
五氯化钽与二甲胺合成法为五（二甲氨基）钽常用制备方法，该法通常以五氯化钽与二甲胺为主要原材料，加入正丁基锂，经过充分反应、过滤、干燥等流程制得成品。在行业发展初期，受技术壁垒高、生产成本高等因素限制，我国五（二甲氨基）钽高度依赖进口。近年来，随着本土企业持续发力以及技术进步，我国五（二甲氨基）钽产能有所扩张，产量不断增长。
受益于研究深入，我国五（二甲氨基）钽关专利数量不断增加，主要包括《一种五（二甲氨基）钽产品及其制备方法》、《一种电子级五（二甲氨基）钽的制备方法》、《一种高纯ALD前驱体五（二甲氨基）钽的重结晶提纯工艺》等。未来随着研究不断深入，我国五（二甲氨基）钽行业发展速度将有所加快。
根据新思界产业研究中心发布的《
2025年中国五（二甲氨基）钽（PDMAT）市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，五（二甲氨基）钽作为前驱体材料，可用于原子层沉积工艺以及化学气相沉积工艺中，氮化钽薄膜（TaN）以及氧化钽薄膜（Ta2O5）为其下游产品。TaN薄膜在集成电路制造过程中应用较多，其作为扩散阻挡层材料，可满足铜互连工艺要求。近年来，随着全球半导体产业逐渐向我国大陆转移，我国集成电路产量不断增长。据国家工信部统计数据显示，2025年1-7月，我国集成电路产量达到2946亿块，同比增长10.4%。未来随着下游行业发展速度加快，我国五（二甲氨基）钽市场空间将进一步扩展。
正帆科技专注于集成电路、泛半导体、生物制药等产品的研发、生产及销售，为我国五（二甲氨基）钽代表企业。目前，正帆科技正在积极推进前驱体产能建设，建成后其五（二甲氨基）钽年产能将达到5吨。
新思界
行业分析人士表示，随着我国集成电路行业发展速度加快，五（二甲氨基）钽市场空间不断扩展。预计未来一段时间，随着本土企业持续发力以及技术进步，我国五（二甲氨基）钽产能有望扩张。
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