四甲基硅烷（TMS），又称四甲硅烷，化学式为C4H12Si，是一种有机化合物。四甲基硅烷外观呈无色透明液体，可溶于乙醚等多数有机溶剂，不溶于浓硫酸和水。四甲基硅烷分子结构呈对称性正四面体，具备化学稳定性、热稳定性、低电负性以及低污染特性，在航空航天、半导体、显示面板、科学研究以及化工合成等众多领域需求旺盛。
四甲基硅烷制备方法包括有机硅低沸分离法、有机硅转化法两种。有机硅低沸分离法指以甲基氯硅烷为主要原材料，经过分离、提纯等流程制得成品，该法具备运行成本低、成品收率高等优势；有机硅转化法以甲基氯硅烷和氯甲烷为主要原材料，加入氯接收剂和催化剂，经充分反应制得成品，该法可用于制备高纯度四甲基硅烷，但极易造成环境污染，不适合进行连续化生产。
根据新思界产业研究中心发布的《
2025-2029年四甲基硅烷（TMS）行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，四甲基硅烷在众多领域需求旺盛，主要包括航空航天、半导体、显示面板、科学研究以及化工合成等。在航空航天领域，四甲基硅烷可用于制造航空燃料；在显示面板领域，其可用于液晶显示面板制备过程中；在科学研究领域，其作为核磁共振基准物质，可用于核磁共振分析过程中；在化工合成领域，其可用于硅橡胶、甲基硅油合成过程中。
在半导体制造领域，四甲基硅烷作为电子特气，可用于碳化硅薄膜、含硅膜等半导体材料沉积工艺中，该领域为其最大需求端。受益于国家政策支持以及技术进步，我国半导体行业发展速度不断加快。在此背景下，我国四甲基硅烷市场空间将进一步扩展。
全球四甲基硅烷主要生产企业包括美国Gelest公司、美国杜邦公司（Dupont）、德国默克公司（Merck）、法国液化空气集团（Air Liquide）等。在本土方面，我国四甲基硅烷主要生产企业包括正帆科技、和远潜江电子、中硅高科等。和远潜江电子正在积极推进年产1.2万吨电子材料项目建设，项目主要产品包括高纯四甲基硅烷、电子级三氯化硼等。
新思界
行业分析人士表示，四甲基硅烷用途广泛，行业人发展速度不断加快。未来随着我国半导体行业景气度提升，四甲基硅烷市场空间将得到进一步扩展。与海外发达国家相比，我国四甲基硅烷行业起步较晚，但发展势头迅猛，已有多家企业具备其规模化生产实力。
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