按照纯度不同，氦气可分为高纯氦气以及超纯氦气两种类型，其中超纯氦气以6N级超纯氦气以及6N9级超纯氦气为代表。6N级超纯氦气，指纯度达到99.9999%以上的氦气产品。6N级超纯氦气具备杂质含量低、不易燃烧、导热性好、轻量化等特点，在核工业、半导体制造、医疗卫生、航空航天、科学研究等众多领域拥有潜在应用价值。
6N级超纯氦气主要从天然气中提取制得。我国地域辽阔，天然气资源较为丰富。近年来，随着油气勘探技术不断进步，我国天然气产量持续增长。据国家能源局统计数据显示，2024年我国油气总产量首次超4亿吨油当量，天然气产量达到2464亿立方米。原材料优势将为我国6N级超纯氦气行业发展奠定良好基础。
提纯为6N级超纯氦气制备关键环节。膜分离法、低温深冷法、吸附法、膜分离-PSA法、膜分离-深冷法以及深冷-膜分离-PSA法等为6N级超纯氦气提纯方法。深冷-膜分离-PSA法属于新型6N级超纯氦气制备方法。受益于技术进步，我国6N级超纯氦气行业发展速度不断加快。
根据新思界产业研究中心发布的《
中国6N级超纯氦气产业发展及“十五五规划”建议报告》显示，6N级超纯氦气作为一种特种气体，在众多领域拥有潜在应用价值，主要包括核工业、半导体制造、医疗卫生、航空航天、科学研究等。在半导体制造领域，6N级超纯氦气作为保护气体，可用于晶圆蚀刻环节；在医疗卫生领域，其可用于核磁共振设备中；在航空航天领域，其可用于火箭燃料箱中。未来随着研究深入，6N级超纯氦气应用范围将进一步扩展。
我国6N级超纯氦气主要生产企业包括山西丰圣能源科技有限公司、安徽万瑞冷电科技有限公司、广东华特气体股份有限公司等。丰圣能源采用“膜分离+PSA+合金脱氢”工艺制备6N级超纯氦气，目前已实现量产。万瑞冷电利用自研低温精制及脱氖装置，成功制备出6N9级超纯氦气。华特气体已与Gigaphoton和ASML达成合作，为其批量供应6N级超纯氦气。
新思界
行业分析人士表示，6N级超纯氦气性能优异，在众多领域拥有广阔应用前景。未来随着我国半导体以及航空航天等高新技术产业发展速度加快，6N级超纯氦气市场空间将进一步扩展。受益于技术进步，我国已有多家企业具备6N级超纯氦气量产能力。
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