四甲基环四硅氧烷,也称1,3,5,7-四甲基环四硅氧烷、2,4,6,8-四甲基环四硅氧烷,简称D4H、TMCTS,是一种含有硅-氢键、分子结构稳定的活性环状硅氧烷,分子式为C4H16O4Si4,分子量为240.509,外观为无色至淡黄色透明液体状,密度0.986g/cm3,熔点-69℃,沸点134℃,不溶于水,需密封存储,并远离火种、高热、酸碱。
在电子工业中,高纯度电子级四甲基环四硅氧烷可以用作化学气相沉积前驱体材料,在衬底表面沉积得到二氧化硅薄膜、碳化硅薄膜,作为绝缘层应用在晶体管等制造领域。除此之外,四甲基环四硅氧烷也可以用作光电材料浸渍剂、化妆品原料等。
四甲基环四硅氧烷的制备方法有,以线性聚甲基氢硅氧烷为原料,置入反应器,与烷烃溶剂混合,添加催化剂例如硫酸铁、三氯化铁、硫酸铝、三氯化铝,在一定温度与压力条件下搅拌进行环化反应,获得甲基氢环硅氧烷,再通过分馏提纯工艺得到四甲基环四硅氧烷。
2020年以来,我国四甲基环四硅氧烷制备工艺相关专利主要有,2020年12月,江西贝特利新材料有限公司申请的“一种四甲基环四硅氧烷的制备方法”,2025年2月,贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司申请的“一种电子级四甲基环四硅氧烷的提纯方法”等。
2020年以来,我国四甲基环四硅氧烷应用相关专利主要有,2021年3月,桂林理工大学申请的“1,3,5,7-四甲基环四硅氧烷基环丙沙星荧光探针及其在铁离子检测中的应用”,环丙沙星经四甲基环四硅氧烷改性具有绿色荧光,当接触Fe3+离子时荧光猝灭,基于此开发出Fe3+检测用荧光探针。
新思界
行业分析人士表示,在我国,贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司可以提供纯度6N级别的电子级四甲基环四硅氧烷产品。2025年5月,江西华特电子化学品有限公司“华特电子永修半导体新材料中试基地项目”环境影响报告书拟批准公示,项目总投资11800万元,分两期建设,一期建设内容中包括D4H(四甲基环四硅氧烷)生产装置。
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