IGZO蚀刻液，又称氧化铟镓锌选择性蚀刻液，指能够蚀刻基板上IGZO层的功能性电子化学品。IGZO蚀刻液需具备侧刻量小、无蚀刻残留、蚀刻率高、使用寿命长、稳定性好等特点，在半导体及显示器件领域拥有巨大应用潜力。
近年来，随着本土企业及相关科研机构持续发力，我国IGZO蚀刻液相关专利数量不断增加，主要包括《一种IGO和IGZO的酸性选择性蚀刻液》、《一种兼容IGZO和ITO蚀刻液及其制备方法和应用》、《一种平板显示用ITO及IGZO蚀刻液及其制备方法》、《一种IGZO薄膜蚀刻液》、《平板显示阵列制程用新型IGZO蚀刻液》等。未来随着研究深入、技术进步，我国IGZO蚀刻液行业发展速度有望加快。
IGZO蚀刻液主要包括酸性蚀刻液、碱性蚀刻液两种类型。酸性蚀刻液通常以硝酸、硫酸和磷酸等无机酸为基材，与有机酸相混合制成，具备蚀刻速率高、选择性可控、生产成本低等优势，为IGZO蚀刻液代表产品。碱性蚀刻液具备控制精度高、侧蚀小等优势，但其运行成本较高。
根据新思界产业研究中心发布的《
2025年中国IGZO蚀刻液市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，IGZO蚀刻液作为一种功能性电子化学品，在芯片制造以及显示面板制造过程中拥有广阔应用前景。近年来，随着全球半导体产业逐渐向我国大陆转移，我国芯片产量持续增长，据国家工信部统计数据显示，2025年前三季度，我国集成电路产量达到3819亿块，同比增长8.6%。IGZO蚀刻液能够精确蚀刻IGZO层而不损伤其他材料层，未来在市场需求带动下，其行业发展空间将进一步扩展。
受市场前景吸引，我国已有多家企业布局IGZO蚀刻液行业研发及生产赛道，主要包括江化微电子、兴福电子材料、晶瑞电子、格林达电子材料、博洋化学、新宙邦等。兴福电子专注于湿电子化学品的研发、生产及销售，其蚀刻液产品包括IGZO蚀刻液、金属蚀刻液以及多晶硅蚀刻液等。据兴福电子企业半年报显示，2025年上半年公司功能湿电子化学品实现营收9874.7万元。
新思界
行业分析人士表示，受益于我国半导体以及显示面板行业发展速度加快，IGZO蚀刻液市场空间不断扩展。随着研究深入、技术进步，我国IGZO蚀刻液产量及质量不断提升。目前，我国IGZO蚀刻液生产企业众多，未来具备高质量产品生产实力的企业将占据市场更大空间。
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