双(二乙基氨基)硅烷，别名二(二乙基氨基)硅烷、双(二乙基胺基)硅烷、双(二乙氨基)硅烷，简称BDEAS，分子式C8H22N2Si，分子量174.359，常温下外观为无色透明液体状，有有机胺样气味，有毒性，有刺激性，密度0.804g/mL，熔点＜-10℃，沸点188.5℃，闪点67.8℃，遇水发生剧烈反应，高度易燃。
为确保产品性能稳定性，半导体工业对双(二乙基氨基)硅烷的纯度、杂质要求严苛。芯片工艺制程不断缩小，前驱体材料纯度要求随之不断提高。双(二乙基氨基)硅烷制备通常是以二烷基胺、氯硅烷为原料反应得到，副产物多，需精馏提纯得到本产品，高纯度产品特别是99.99%（4N）以上的高纯度产品制备难度大。
目前，我国已经开发出的双(二乙基氨基)硅烷制备方法有：以二乙胺为原料，先制备二乙胺锂盐，再与二氯二氢硅进行反应得到；以二氯氢硅、己烷、二乙胺为原料，添加催化剂，在氮气气氛下反应得到；以无水二乙胺、二氯硅烷、氮气为原料，在一定温度下反应得到等。
从精制、提纯工艺方面来看，我国相关专利主要有：浙江博瑞电子科技有限公司的“一种双(二乙基)氨基硅烷的精制方法”，将工业级双(二乙基氨基)硅烷经杂质分解剂初步精制，再经吸附剂二次精制得到高纯度产品；武汉芯辰科技有限责任公司的“一种二(二乙基氨基)硅烷的提纯方法”，将工业级双(二乙基氨基)硅烷经脱轻、脱重、冷凝、吸附、过滤等工艺环节制备得到纯度在99.99%以上的产品。
新思界
行业分析人士表示，在我国市场中，双(二乙基氨基)硅烷布局企业主要有江苏南大光电材料股份有限公司、铜陵安德科铭电子材料科技有限公司、浙江博瑞电子科技有限公司、安徽博泰电子材料有限公司等。其中，江苏南大光电材料股份有限公司可以提供纯度99.999%的双(二乙基氨基)硅烷产品。
关键字：
