高纯纳米氮化硅粉，通常是指纯度在99.9%及以上，粒径在纳米尺度的氮化硅粉体。
氮化硅，化学式Si3N4，具有密度低、硬度大、强度高、耐磨、抗冲击、耐高温、抗氧化、耐腐蚀、自润滑、导热性好等特点，是一种重要的结构陶瓷材料。氮化硅可用来制造耐火材料、耐高温材料、抗腐蚀材料、高硬度材料等，应用在阀门、泵、坩埚、轴承、刀具、磨料、电子产品、太阳能电池、飞机发动机零部件等生产领域。
在电子产业中，氮化硅可以用于半导体封装、电子元件器制造等方面。电子产品小型化、功能集成化发展已经成为趋势，对制造材料的导热性、硬度、耐蚀性等要求不断提高，高纯纳米氮化硅粉因此受到关注。
除电子元器件、半导体封装等领域外，高纯纳米氮化硅粉还可以用于滚动轴承、滑动轴承、阀门、切削刀具、复合材料、石英坩埚脱模剂、多晶硅坩埚衬底材料、涡轮叶片、燃气轮机叶片、汽缸内壁涂层、火箭发动机喷嘴等制造领域，主要集中在高技术产业。
高纯纳米氮化硅粉可以采用等离子弧气相合成法、气溶胶烧蚀法等工艺进行制备。其中，气溶胶烧蚀法是以高纯四氯化硅、氨为原料，在一定温度下先合成前驱体，纯化后再在高温条件下热解得到高纯纳米氮化硅粉。
新思界
行业分析人士表示，高纯纳米氮化硅粉制备难度大，近年来我国相关研究还在深入。例如北京纳斯特克纳米科技有限责任公司申请“高纯氮化硅纳米粉制备技术及应用”专利，浙江能鹏半导体材料有限责任公司申请“一种高纯高分散纳米氮化硅粉的制备方法”专利，辽宁师范大学与大连工业大学、辽宁禾润新材料科技有限公司的“氨解法制备高纯纳米氮化硅粉体设备与工艺研发”项目获得2025年辽宁省重点研发计划立项资助。
从企业布局方面来看，根据渭南经开区招商和对外合作局于2025年4月公开的2024年招商引资项目来看，其中包括中化学城市投资有限公司投资12.08亿元的年产100吨高纯纳米氮化硅粉项目。
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