一氟甲烷，也直接称作氟甲烷，别名甲基氟、HFC-41、R41，CAS号593-53-3，化学式CH3F，分子量34.03，无色气体，有醚样气味，熔点-142℃，沸点-78.4℃，临界温度44.5℃，微溶于水，可溶于醇、醚等有机溶剂，易燃烧，受热可分解释放出有毒氟化氢气体。
一氟甲烷的制备方法主要有：以氯甲烷为原料，在催化剂作用下，与氟化氢进行反应得到，该工艺反应选择性较好、产品纯度较高，但对催化剂、反应条件要求高；以甲醇为原料，在催化剂作用下，与氟化氢进行反应得到，该工艺原料易得、反应过程较为简单，但会产生副产物。
根据新思界产业研究中心发布的
《2026-2030年全球及中国一氟甲烷（氟甲烷）行业研究及十五五规划分析报告》显示，高纯一氟甲烷可以用作电子气体，在半导体工业中用于刻蚀工艺环节，作为刻蚀气体使用，其可与硅、二氧化硅等半导体材料发生化学反应，去除未被光刻胶保护的材料，实现图形转移，具有刻蚀选择性较好、刻蚀精度较高、刻蚀速率可调控等特点。一氟甲烷ODP值（臭氧消耗潜能值）为零，不会对臭氧层造成破坏，是一种绿色电子气体。
一氟甲烷也可以应用在半导体清洗工艺中，其可与硅片表面残留的杂质发生反应，生成可挥发或者可溶解物质，从而达到硅片表面杂质清洗目的。一氟甲烷还可以用于薄膜沉积工艺中用作氟源，用作有机合成中间体用来制备医药（例如麻醉剂）、农药、制冷剂、高分子聚合物、其他精细化学品等。
一氟甲烷可应用范围较为广泛，特别是高纯电子级一氟甲烷产品技术含量高、附加值高，能够提高生产企业的核心竞争力与盈利能力。2024年8月1日，我国《关于严格控制氢氟碳化物化工生产建设项目的通知》（环办大气[2024]22号）执行，在附件2“受控氢氟碳化物名单”中，HFC-41（一氟甲烷）被列入。我国一氟甲烷行业进入壁垒正在提升。
新思界
行业分析人士表示，现阶段在我国市场中，一氟甲烷布局企业主要有福建德尔科技股份有限公司、泉州宇极新材料科技有限公司、金宏气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、浙江博瑞电子科技有限公司等。例如，福建德尔科技股份有限公司可以提供纯度99.999%的电子级一氟甲烷，泉州宇极新材料科技有限公司可以提供纯度99.9%、99.99%的一氟甲烷产品。
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