硫化氢，化学式为H2S，是一种是硫的氢化物。高纯硫化氢，指纯度达到99.9%及以上的硫化氢气体，具备杂质含量极低、反应活性高、腐蚀性强等特点，在集成电路制造过程中应用较多。
近年来，我国企业及相关科研机构不断加大对于高纯硫化氢的研究，带动其相关专利数量有所增加，主要包括《一种高纯硫化氢的制备工艺及制备装置》、《以液氨热泵精馏模式生产高纯硫化氢的装置及生产方法》、《高纯硫化氢的制备工艺》、《一种高纯硫化氢的提纯装置》、《一种以液氨热泵精馏模式生产高纯硫化氢的装置》等。未来随着研究深入，高纯硫化氢技术水平有望提升。
高纯硫化氢通常以硫磺和纯氢为原材料制成。硫磺是一种重要化工原料，外观呈淡黄色不规则块状、粉末状、颗粒状或脆性结晶，含类似臭鸡蛋味，用途广泛。天然气脱硫法、矿石冶炼法、石油炼制脱硫法等为硫磺主要制备方法。2025年我国硫磺产量突破1000万吨，同比增长超过10%。原材料供应充足将为我国高纯硫化氢行业发展奠定良好基础。
根据新思界产业研究中心发布的《
2026年中国高纯硫化氢市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，作为一种电子特气，高纯硫化氢在集成电路制造过程中应用较多。近年来，随着全球半导体产业逐渐向我国大陆转移，我国集成电路产量不断增长。据国家工信部统计数据显示，2025年我国集成电路产量达到4843亿块，同比增长10.9%。高纯硫化氢可用于集成电路原子层沉积（ALD）工艺以及化学气相沉积（CVD）工艺中，未来随着应用需求增长，其行业发展空间将得到进一步扩展。
目前，我国高纯硫化氢行业集中度较高，头部优势企业占据市场主要份额。中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、昊华化工科技集团股份有限公司等为我国高纯硫化氢代表企业。中船特气计划推进电子特气产能建设，项目建成后其高纯硫化氢年产能将达到3383吨。昊华科技子公司中昊光明已具备4N级高纯硫化氢规模化生产实力。
新思界
行业分析人士表示，高纯硫化氢作为电子特气，应用前景较好。未来随着我国集成电路产量持续增长，高纯硫化氢市场需求将日益旺盛。目前，我国高纯硫化氢行业集中度较高，中船特气和昊华科技占据市场较大份额。未来伴随技术成熟度提升，我国高纯硫化氢市场参与者数量将进一步增长。
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